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張家港市海博超聲設(shè)備有限公司

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硅片清洗機(jī)

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 品牌：
  • 產(chǎn)品類別：木片清洗機(jī)
  • 所在地：張家港市
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時(shí)間：2025-02-17 20:14:55
  • 瀏覽次數(shù)：3
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張家港市海博超聲設(shè)備有限公司

其他

  • 經(jīng)營(yíng)模式：其他
  • 商鋪產(chǎn)品：60條
  • 所在地區(qū)：
  • 注冊(cè)時(shí)間：2017-01-03
  • 最近登錄：2024-01-06
  • 聯(lián)系人：
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備特點(diǎn)1.人機(jī)界面，PLC控制；2.采用單臂機(jī)械手，可靈活調(diào)節(jié)清洗工藝；3.各清洗槽設(shè)置拋動(dòng)機(jī)構(gòu)，保證清洗效果；4.采用超聲波清洗、鼓泡沖洗等工藝；5.采用28KHZ、40KHZ多頻段超聲波；6.全封閉機(jī)構(gòu)，外形美觀

詳情介紹

設(shè)備特點(diǎn)

1.人機(jī)界面，PLC控制；
2.采用單臂機(jī)械手，可靈活調(diào)節(jié)清洗工藝；
3.各清洗槽設(shè)置拋動(dòng)機(jī)構(gòu)，保證清洗效果；
4.采用超聲波清洗、鼓泡沖洗等工藝；
5.采用28KHZ、40KHZ多頻段超聲波；
6.全封閉機(jī)構(gòu)，外形美觀。
7.設(shè)備內(nèi)部安裝有維修照明燈，方便維修。
8.上下料有專用手推車，方便員工操作.

工藝流程

上料→超聲波粗洗→超聲波精洗→高壓噴淋清洗→超聲波漂洗→超聲漂洗→熱風(fēng)干燥→下料

應(yīng)用范圍

設(shè)備適用于：
 　
1
爐前清洗：擴(kuò)散前清洗。
2
光刻后清洗：除去光刻膠。
3
氧化前自動(dòng)清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4
拋光后自動(dòng)清洗：除去切、磨、拋的沾污。
5
外延前清洗：除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。
6
合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質(zhì)及光膠殘?jiān)?/div>
7
離子注入后的清洗：除去光刻膠，SiO2層
8
擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗：除去預(yù)淀積時(shí)的BSG和PSG。
9
外延前清洗：除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。
10
CVD后清洗：除去CVD過程中的顆粒。

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