有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)技術(shù)作為一種新興顯示技術(shù),具有器件輕薄、可視角度大、柔性顯示、節(jié)省電能等優(yōu)勢,已廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域。矽碁科技具有豐富的OLED系統(tǒng)集成經(jīng)驗(yàn),可根據(jù)客戶需求,集成各類工藝腔體,為客戶量身打造OLED技術(shù)開發(fā)設(shè)備。矽碁提供兩種OLED設(shè)備架構(gòu):
Cluster架構(gòu):傳輸腔體連接各工藝腔體,機(jī)械手臂傳片,全自動控制,可連續(xù)生產(chǎn)
In-line架構(gòu):手套箱串接各工藝腔體,手動傳片,架構(gòu)靈活,拓展性強(qiáng),性價比高
矽碁科技擁有超過10年的OLED Cluster設(shè)備制造的經(jīng)驗(yàn),同時與學(xué)術(shù)和工業(yè)界都有非常密切的的合作。矽碁科技還與中國臺灣多家的OLED研究機(jī)構(gòu)建有合作實(shí)驗(yàn)室(明志科技大學(xué),曜凌光電),長期從事OLED技術(shù)研發(fā)和技術(shù)更新,可與客戶進(jìn)行深度的OLED技術(shù)交流及合作。
可選配置:
1 預(yù)處理腔體;
2 傳輸腔體;
3 有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜腔體;
4 金屬蒸發(fā)鍍膜腔體;
5 磁控濺射腔體;
6 原子層沉積封裝腔體;
7 高分子封裝鍍膜腔體;
8 Mask/基片存儲腔體;
9 機(jī)械/CCD對準(zhǔn)機(jī)構(gòu);
10 手套箱集成;
手動傳樣三腔體OLED Cluster
帶ALD封裝的三腔體OLED Cluster
標(biāo)準(zhǔn)6邊型OLEDCluster
標(biāo)準(zhǔn)全自動OLED Cluster鍍膜系統(tǒng)
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