產(chǎn)品簡介： 多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)是用于控制一種到多種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐， 這種氣體控制系 統(tǒng)安裝在移動(dòng)架內(nèi)， 管式爐可以放在移動(dòng)架上面， 氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié) 閥，可以用于 CVD 系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響，在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料 學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用， 廣泛應(yīng)用于 電子工藝設(shè)備， 如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它 分析儀器。
產(chǎn)品型號(hào) | 混氣系統(tǒng) 2 路質(zhì)子 GSL-2Z 、混氣系統(tǒng) 3 路質(zhì)子 GSL-3Z 、混氣系統(tǒng) 4 路質(zhì)子 GSL-4Z |
主要特點(diǎn) | 精度高，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源： 185-245V 50Hz 2、輸出功率： 18W 3、控制范圍： GSL-2Z 控制器 1——1-199SCCM 、控制器 2——1-499SCCM GSL-3Z 控 制 器 1——0-100SCCM 、 控 制 器 2——1-199SCCM 、 控 制 器 3——1-499SCCM |
GSL-4Z 控 制 器 1——0-100SCCM 、 控 制 器 2——1-199SCCM 、 控 制 器 3——1-199SCCM 、控制器 4——1-499SCCM 4、壓力： 3×106 Pa 5、準(zhǔn)確度：± 1%FS 6、線性：±0.5-1.5% 7、重復(fù)精度：±0.2%FS 8、響應(yīng)時(shí)間： 氣特性 1-4s ，電特性 10s 針閥： 316 不銹鋼 9、工作壓差范圍： 0.1-0.5 MPa |
10、壓力表測量范圍： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） | |
11、混氣罐： ?80mm×120mm | |
12、截止閥： ?1/4″ ，316 不銹鋼針閥 | |
13、工作溫度： 5-45℃ | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 600mm×600mm×650mm |
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