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混合配比氣體流量計(jì)控制器可以應(yīng)用到對(duì)各種氣體進(jìn)行測(cè)量和控制，除測(cè)量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以精密測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。D07-19產(chǎn)品是七星流量計(jì)研發(fā)精度高、響應(yīng)時(shí)間快的模擬產(chǎn)品。

特點(diǎn)

• 高精度，快響應(yīng)型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
• 兼容

混合配比氣體流量計(jì)控制器此設(shè)備根據(jù)客戶需求搭建可要求標(biāo)準(zhǔn)氣體量程進(jìn)氣口和出氣口多通道氣體混合配比詢價(jià)店內(nèi)客服報(bào)價(jià)

氣體配比器主要用于氣體流量測(cè)試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加

該氣體配比器可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制

2.各種真空鍍膜設(shè)備

3.特種材料表面處理

4.氣體燃燒控制

5.混和配氣系統(tǒng)

6.泄漏探測(cè)系統(tǒng)

7.環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備

8.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制

9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測(cè)和控制的場(chǎng)所

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目	D07-19B	D07-19BM	D07-19F	D07-19FM 型
流量規(guī)格	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM	0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量規(guī)格	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	0~1,2,3,5,10,20,30 SLM
準(zhǔn)確度	±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
線性	±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)
重復(fù)精度	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤2 sec	≤2sec	≤4 sec	≤4 sec
工作壓差范圍	≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) ＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)	-	≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) ＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)	-
氣壓降	-	<0.02 MPa (2.9 psid)	-	<0.02 MPa (2.9 psid)
大工作壓力	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
耐壓	3 MPa (435.1 psig)	10 MPa (1450.4 psig)	3 MPa (435.1 psig)	10 MPa (1450.4 psig)
工作環(huán)境溫度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
輸入輸出信號(hào)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	4~20 mA 或 1~5 VDC	4~20 mA 或 1~5 VDC
電源	+15 V 50 mA -15V 200 mA	+15 V 50 mA －15 V 50 mA	24 VDC 100 mA	24 VDC 100 mA
重量	0.95 kg	0.7 kg	1.2 kg	1 Kg