腐蝕性氣體質(zhì)量流量計(jì)氣體配比器,
• 采用的恒功率傳感器原理,在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償,從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象,保證了傳感器線性。
• CS200C產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù),與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,CS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下,CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達(dá)25RA。
• CS200產(chǎn)品嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造,尺寸符合國(guó)際通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字,模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品支持RS485,DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功能、自動(dòng)歸零功能、報(bào)警功能、軟啟動(dòng)功能、延遲功能及功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端使用軟件。
腐蝕性氣體質(zhì)量流量計(jì)氣體配比器KT-C4ZS資料 ;
產(chǎn)品型號(hào) | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
氣體通道 | 4進(jìn)1出 | 4進(jìn)1出 | |||
可根據(jù)需求定制 | |||||
產(chǎn)品類型 | 高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制 | ||||
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) | ||||
產(chǎn)品精度 | 高精度型±1%F.S | 普通型±1%F.S | |||
重復(fù)精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
線性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||
響應(yīng)時(shí)間 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | |||
工作溫度范圍 | (5~45)°C | ||||
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
功耗 | 40W | ||||
進(jìn)氣口壓 | ≤0.6MPa | ||||
連接管道 | 316不銹鋼管道 | ||||
截止閥類型 | 電磁閥 | ||||
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa | ||||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
控制方式 | 7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié) | ||||
時(shí)間設(shè)定 | 0-32000分鐘 | ||||
清洗功能 | 一鍵清洗 | ||||
程序控制 | 5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值) | ||||
壓力顯示 | 有(出氣壓力檢測(cè)且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路) | ||||
氣體混合罐 | 有(內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻) | ||||
氣體加熱 | 無(wú)(可選配氣體混合罐加熱,加熱溫度室溫至350℃可調(diào)) | ||||
流量累計(jì) | 有(累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量) | ||||
可選進(jìn)出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||||
抗電磁干擾 | 有 | ||||
外形尺寸 | 550x380x400mm | ||||
重量 | 18KG~20KG |
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