實驗室微型四探針真空探針臺主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
該實驗室微型四探針真空探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點后，即可進(jìn)行檢測
真空腔體 | ||
| 加熱型 | 冷熱型 |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(cè)開 | |
加熱臺材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm | |
觀察窗尺寸 | Φ70mm | |
加熱臺尺寸 | φ60mm | |
觀察窗熱臺間距 | 75mm | |
加熱臺溫度 | 35-350℃ | -196-350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ | |
真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa | |
允許正壓 | ≤0.1MPa | |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 | |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 | |
電信號接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培 | |
探針數(shù)量 | 4探針 | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 | |
探針尖 | 10μm | |
探針移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 30mm ±15mm | |
X軸控制精度 | ≤0.01mm | |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm | |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm | |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm | |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm | |
電子顯微鏡 | ||
顯微鏡類別 | 物鏡 | |
物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 | |
工作間距 | 90mm | |
相機(jī) | sony 高清 | |
像素 | 1920※1080像素 | |
圖像接口 | VGA | |
LED可調(diào)光源 | 有 | |
顯示屏 | 8寸 | |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm | |
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