鄭科探 氣體配比器KT-C4ZS模擬質量流量控制器 高精度型,快響應型 流量控制 流量檢測 國際兼容用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)
鄭科探 氣體配比器KT-C4ZS
D07-19B (流量控制 流量檢測)
D07系列模擬質量流量控制器
★高精度,快響應型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭,國際標準機械接頭
★國際兼容用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)
產品型號 | D07-19B |
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產品類型 | 高精度型,快響應型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重復精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5% F.S. |
響應時間 | ≤2sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 常閉 |
溫度系數(shù) | - 無 - |
零點飄移指標 | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | (0.1~0.3) MPa,(0.1~0.5) MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
標準接頭形式 | 雙卡套1/8"(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8",φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4",雙卡套1/4",φ6(內)×1軟管接頭 |
表面化學成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 0.95kg |
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