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質(zhì)量流量計(jì)外置式氣體配比器KT-C4ZS按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加

該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏。

配置1質(zhì)量流量

2單向閥單向出氣

3觸摸屏控制，5段可編程序（時(shí)間-流量隨意設(shè)置定值）

4采用316金屬管道耐腐蝕性強(qiáng)

用途1半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制

2各種真空鍍膜設(shè)備

3特種材料表面處理

5混合配氣系統(tǒng)

6環(huán)境監(jiān)測(cè)與分析設(shè)備

質(zhì)量流量計(jì)外置式氣體配比器KT-C4ZS資料 ;

產(chǎn)品型號(hào)	KT-PCS4Z	KT-C4ZS
氣體通道	4進(jìn)1出	4進(jìn)1出
	可根據(jù)需求定制
產(chǎn)品類型	高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制
可選量程	20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選)
產(chǎn)品精度	高精度型±1％F.S	普通型±1％F.S
重復(fù)精度	高精度型±0.2% F.S	普通型±0.2% F.S
線性	高精度型±0.5% F.S.	普通型±1% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	高精度型≤2sec	普通型≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
供電電源	~85-265VAC 50/60Hz
功耗	40W
進(jìn)氣口壓	≤0.6MPa
連接管道	316不銹鋼管道
截止閥類型	電磁閥
單向閥開啟壓力	0.02Mpa
壓力顯示量程	0-0.6Mpa
控制方式	7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)
時(shí)間設(shè)定	0-32000分鐘
清洗功能	一鍵清洗
程序控制	5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值)
壓力顯示	有（出氣壓力檢測(cè)且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路）
氣體混合罐	有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）
氣體加熱	無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)）
流量累計(jì)	有（累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量）
可選進(jìn)出氣口接頭形式	3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
抗電磁干擾	有
外形尺寸	550x380x400mm
重量	18KG～20KG