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森瑪特儀器（北京）有限公司
初級(jí)會(huì)員·1年
合肥科晶 EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀
| 參考價(jià): | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號(hào)
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- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 北京市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：8更新時(shí)間：2022-04-26 22:50:01
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
售后服務(wù)：
1、我司承諾所銷售產(chǎn)品全部為原廠原裝*。
2、本產(chǎn)品全國(guó)聯(lián)保，質(zhì)保期：1年質(zhì)保（消耗品除外）；
3、質(zhì)保期內(nèi)如有產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題，免費(fèi)維修；質(zhì)保期外*提供技術(shù)支持，不收維修費(fèi)，只酌情收取基本配件費(fèi)及相關(guān)費(fèi)用；
4、所有產(chǎn)品售后問(wèn)題，請(qǐng)直接聯(lián)系我司，我司售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)會(huì)在24h內(nèi)響應(yīng)處理。
產(chǎn)品介紹
合肥科晶 EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀
產(chǎn)品概述：
EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理，結(jié)合*的頻率測(cè)量技術(shù)，進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過(guò)程中，對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
合肥科晶 EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀
- 主要特點(diǎn)：
本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。 - 顯示儀具有界面簡(jiǎn)潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM
- 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。
- 通過(guò)軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置，并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫(xiě)入Excel文件。
- 具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。
EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件：
- 電源：DC5V（±10%），大電流400mA
- 頻率分辨率：±0.03Hz
- 膜厚分辨率：0.0136Å（鋁）
- 膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過(guò)程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度
- 測(cè)量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置
- 測(cè)量范圍：500000Å（鋁）
- 標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz
- 計(jì)算機(jī)接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8，停止位：1，校驗(yàn)：無(wú)）
- 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調(diào)制輸出（集電極開(kāi)路或內(nèi)部5V輸出）
- 工作環(huán)境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
- 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
EQ-TM106-2顯示儀：
- 輸入電源：AC 220V±10%
- 輸出電源：DC 5V 3A
- 顯示器：12×2數(shù)碼管與LED
- 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8位，停止位：1位 ，奇偶校驗(yàn)：無(wú)）
- 外形尺寸：182mm×65mm×160mm
EQ-TM106-3探頭：
- 適用晶片頻率：6MHz
- 適用晶片尺寸：Φ14mm
- 安裝法蘭：CF35
- 冷卻水管：Φ3mm，長(zhǎng)度300mm、500mm、1000mm
- 冷卻水壓：<0.3MPa
- 氣動(dòng)擋板路管：Φ3mm
壓縮空氣壓力：烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃
電氣接口：BCN插座
標(biāo)準(zhǔn)配件：1EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件1個(gè)2EQ-TM106-2顯示儀1臺(tái)3EQ-TM106-3探頭1個(gè)
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