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當(dāng)前位置:武漢華科達(dá)實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司>>常用實(shí)驗(yàn)儀器>>勻膠機(jī)>> KWD臺(tái)式勻膠機(jī)
華科達(dá)實(shí)驗(yàn)設(shè)備為您提供優(yōu)質(zhì)的KWD臺(tái)式勻膠機(jī)介紹如下:
臺(tái)式勻膠機(jī)的產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
勻膠機(jī)用于半導(dǎo)體硅片/載玻片/晶體/ITO導(dǎo)電玻璃等工藝、制版的表面涂覆
具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),保證涂膠厚度*性和均勻性
25年來(lái)產(chǎn)品精心打造,*技術(shù)國(guó)內(nèi)**,年出貨500臺(tái)。
的主要特點(diǎn):
1,開(kāi)關(guān)電流調(diào)速,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。
2,轉(zhuǎn)速在500~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
3,采用雙轉(zhuǎn)速,在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開(kāi),然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào),時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。
4,具有定時(shí)功能。
5,測(cè)速采用光電的辦法,產(chǎn)生光電脈沖,由晶體分頻測(cè)速準(zhǔn)確性高。
6,吸片采用電磁閥控制氣路,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作,適合流水線(xiàn)的工藝,提高了效率。
7,在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音降低。
的技術(shù)參數(shù):
參數(shù) 指標(biāo)
轉(zhuǎn)速:旋轉(zhuǎn)速度200-2000轉(zhuǎn)/分,±0.5%精度
勻膠時(shí)間:3-60S可調(diào)
基片尺寸:Φ200-Φ600mm,200mm*200mm*~500mm*500mm
使用材料:硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP等多種材料
電機(jī)功率:320W
LED數(shù)字顯示:轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±0.5%,膠的均勻性:±5%
zui大加速度:zui高加速度≥60升/分
儀器尺寸:980*855*855mm
的行業(yè)應(yīng)用補(bǔ)充說(shuō)明:
如何選購(gòu)合適的勻膠機(jī)?
針對(duì)目前勻膠機(jī)市場(chǎng)品牌眾多,良莠不齊現(xiàn)象,筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機(jī)技術(shù)服務(wù)的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。幫助廣大用戶(hù)提高辨別能力,為用戶(hù)提供了直觀(guān)明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。
從其原理來(lái)說(shuō),我們可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)“
1、 旋轉(zhuǎn)速度:轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大,對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國(guó)產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能精確標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒(méi)有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購(gòu)買(mǎi)轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的,比如:美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
2、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無(wú)油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?,如果真空吸附力降低,?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過(guò)國(guó)產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶(hù)常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題,這一點(diǎn)許多國(guó)外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò),他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制,如果真空吸附力不夠的時(shí)候,不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。
3、 材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō),材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對(duì)于各類(lèi)化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話(huà),將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。例如美國(guó)[2] 等型號(hào)都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。
的售后服務(wù)政策:
1.我公司生產(chǎn)或經(jīng)銷(xiāo)的產(chǎn)品,無(wú)論用戶(hù)在何地,一律按照產(chǎn)品說(shuō)明的保修期提供保修服務(wù)滿(mǎn)足用的各種需求。
2.產(chǎn)品保修期內(nèi),在正常使用的情況下出現(xiàn)任何產(chǎn)品的故障,經(jīng)驗(yàn)證屬實(shí),可免費(fèi)維修儀器或更換零部件;但因使用不當(dāng)、濫用、誤用或因自然災(zāi)害造成的故障,不屬于免費(fèi)保修范圍,我公司可提供維修服務(wù),只收取所更換零部件的成本費(fèi)用;保修期外,出現(xiàn)儀器故障將及時(shí)維修,維修費(fèi)免除,只收取成本費(fèi)。
3.本公司售后服務(wù)產(chǎn)品,保修期均為12個(gè)月,終身維護(hù)使用。
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