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MDL900 大量程超高純氣體稀釋裝置

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更新時間:2022/05/12 19:20:02瀏覽次數(shù):50

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產(chǎn)品簡介

根據(jù)標準ISO6145研制的熱式質量流量控制器法的氣體稀釋裝置,稀釋范圍從(100-10000)倍,流量輸
出(0.5-5)L/min,具有兩元或多元稀釋模式。

詳細介紹

DL900  大量程超高純氣體稀釋裝置
根據(jù)標準ISO6145研制的熱式質量流量控制器法的氣體稀釋裝置,稀釋范圍從(100-10000)倍,流量輸出(0.5-5)L/min,具有兩元或多元稀釋模式。裝置中采用進口熱式流量控制器,并經(jīng)高精度流量計校準,流量偏差可控制在0.5%以內,重復性小于0.2%,線性擬合系數(shù)R2>0.9999,稀釋裝置精度小于2%。

裝置優(yōu)勢:1、裝置內部管線采用VCR與焊接相結合,具有非常好的密封性,可適用于高純及超高純氣體稀釋;

          2、裝置稀釋范圍大,稀釋比例可達105倍;
          3、節(jié)省載氣 ,可在出口氣體流量不變的情況下,進行高倍數(shù)稀釋;
          4、允許稀釋后氣體有一定背壓(0.5MPa以內),適合有進樣壓力要求的儀器使用。

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