CS200質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)

CS200D數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，采用*傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以內(nèi)，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi)，CS200C產(chǎn)品*快可在800ms以內(nèi)達(dá)到設(shè)定流量，響應(yīng)時(shí)間將使用過(guò)程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差小化，所需流量更加精準(zhǔn)。

優(yōu)勢(shì)

• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。

• CS200C產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下，CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達(dá)25RA。

• CS200產(chǎn)品嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造，尺寸符合通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。

• 產(chǎn)品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

• 具有多氣體多量程功能、自動(dòng)歸零功能、報(bào)警功能、軟啟動(dòng)功能、延遲功能及功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端使用軟件。

CS200D數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

CS200
型號(hào)	CS200-A		CS200-C		CS200-D
閥類型	常開(kāi)(流量規(guī)格 ≤ 30SLM) 或常閉	無(wú)	常開(kāi)或常閉	無(wú)	常開(kāi)或常閉	無(wú)
流量規(guī)格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準(zhǔn)確度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤ 1sec		≤ 0.8sec
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa
大工作壓力	0.45MPa
溫度系數(shù)	零點(diǎn)： ≤±0.05% F.S./℃；調(diào)節(jié)時(shí)： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM 調(diào)節(jié)時(shí)： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格＞30SLM		零點(diǎn)： ≤±0.02% F.S./℃；調(diào)節(jié)時(shí)： ≤±0.05% F.S./℃
耐壓強(qiáng)度	3MPa
漏率	1×10-10 Pa·m3 / sec He		1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料	氟橡膠		金屬密封
工作環(huán)境溫度	（5～45）℃		（0～50）℃
輸入信號(hào)	數(shù)字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無(wú)	數(shù)字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無(wú)	數(shù)字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無(wú)
輸出信號(hào)	數(shù)字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年
電源	±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分	常態(tài)		Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）		常態(tài)
表面粗糙度	25 Ra		10 Ra		25 Ra
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽(yáng)接頭；雙卡套φ3；雙卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭； φ4(內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;		雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽(yáng)接頭； 1.5´´C 型密封接頭;1.5´´ W型密封接頭
電源接頭形式	D 型 9 針陽(yáng)接頭；D 型 15 針陽(yáng)接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1.2Kg	1Kg