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當(dāng)前位置:上海晨華科技股份有限公司>>產(chǎn)業(yè)化熱工裝備>> 氣相/液相滲硅爐
用途:
底升式碳管燒結(jié)爐,底部出裝料是理想的碳基材料氣相、液相滲硅爐.
主要配置:
1.立式爐體,雙層爐體結(jié)構(gòu),水冷夾套設(shè)計(jì)。
2.爐膛內(nèi)石墨碳管發(fā)熱體,保溫層,測(cè)溫、監(jiān)測(cè)熱電偶等組成。
3.出、裝料盤裝在爐底由電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降,便于出、裝料。
4.PLC加觸摸屏操作方式,有報(bào)警功能,自動(dòng)化程序高,安全可靠
主要技術(shù)參數(shù):
1.工作區(qū):?300X500mm
2.高溫度:2000℃
3.工作溫度:1650℃
4.極限真空度:5X10-3Pa
5.保護(hù)氣氛氮或氬氣
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