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當(dāng)前位置：深圳市科晶智達(dá)科技有限公司>>實(shí)驗(yàn)設(shè)備>>1600-2000℃管式爐>> SP-50KTC 2000℃溫度可控型感應(yīng)加熱爐
GSL-1700X-HNG 1700℃帶鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm管式爐
SP-50KTC是一套小型高溫感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng)，配用15KW的感應(yīng)電源，Φ130mm的石英管、密封法蘭、石墨坩堝、石墨毯、氧化鋁保溫毯、16L/min的循環(huán)水冷機(jī)、真空泵和移動(dòng)架等。針對(duì)于生長(zhǎng)晶體，金屬熔煉和各種材料的熱處理，是的實(shí)驗(yàn)幫手。儀器溫度可以達(dá)到2000℃（使用時(shí)石英管內(nèi)需通入保護(hù)性氣體）。
| 性能指標(biāo)和基本配置 | |
|---|---|
| 高頻感應(yīng)加熱設(shè)備 | ● 工作電壓: 三相380VAC 50Hz (需60A空氣開關(guān)） ● 輸入功率: 25KW ● 震蕩頻率: 30 - 80 kHz ● 循環(huán)比: 80% ● 感應(yīng)線圈: 150mm(OD) x 140mm(ID) x 90mm(H) ● 保護(hù)系統(tǒng)：帶有自動(dòng)水壓、過熱、功率過高保護(hù) ● 耐火材料：配有多塊采用氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，和防止熱量輻射  |
| 溫度控制器& 熱電偶 | ● 工作電壓: 208~240V AC, 單相 ● 采用PID方式控溫 ，可設(shè)置30段升降溫程序 ● 設(shè)備帶有過熱和斷偶保護(hù)功能 ● 控溫精度：+/- 3 oC ● 采用C型熱電偶,探頭伸入到石墨坩堝內(nèi) ● 長(zhǎng)期使用溫度：1900oC ● 工作溫度：2000oC（＜5小時(shí)） ● 升溫速率: 10oC/second (1000oC-1200oC) 8oC/second (1200oC~1500oC) 3oC~6oC/second (1500oC~2000oC)  |
| 石墨坩堝和耐火磚 | ● 高純石墨坩堝: 50mm(OD)×40mm(ID)×110mm ,坩堝是用來感應(yīng)加熱和熔化金屬 ● 容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2 ● 可選:為對(duì)晶片熱處理，可定制石墨樣品臺(tái)，可放置晶片尺寸為1.5'' O.D x 1/8'' T，因?yàn)槭珜?dǎo)熱率非常高，所以可使放置的晶片受熱均勻  ● 保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃） |
| 密封法蘭與石英管 | ● 頂部法蘭: 采用不銹鋼折疊式法蘭，帶有一1/4＂的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥 ● 底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接。 ● 石英管尺寸：130mm(OD) x 122mm(ID) x 360mm(L) ● 儀器中配有KF25擋板閥和KF25*1000mm的波紋管，以便與真空泵相連接    |
| 防腐型真空計(jì)（可選） | 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到3.8x10E-5 torr |
| 循環(huán)水冷機(jī) | ● 溫度范圍: 5 - 30°C ● 水流速： 16L/min ● 水箱容積: 12 Liters 采用不銹鋼制作 ● 水壓≥0.1MPa，流量≥5L/Min ● 注: 本公司建議使用專用的冷卻液作為冷卻介質(zhì)  |
| 真空泵 | ● 儀器中配有一2L/S的雙極旋片機(jī)械泵，使管內(nèi)的真空度達(dá)到10e-2 torr ● 工作電壓AC 208 -240V, 單相  |
| 移動(dòng)爐架 | ● 結(jié)構(gòu): 鋼框架結(jié)構(gòu) ● 800mm×600mm的移動(dòng)爐架可方便移動(dòng)電感應(yīng)加熱器和帶有法蘭的石英管 |
| 產(chǎn)品尺寸 | ● 感應(yīng)加熱器:520mm x 520mm x 450mm ● 水冷機(jī)組: 460mm x 475mm x 762mm ● 移動(dòng)爐架： 600mm(L) x 800mm(W) x 597mm(H)  |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)，不包括石英管、硅膠密封圈和石墨坩堝損耗件） |
| 注意 | ● 為了保護(hù)石墨坩堝和C型熱電偶，要不斷通入惰性氣體 ● 如果您對(duì)感應(yīng)加熱和熔煉的東西不了解，可以咨詢我們的工程師 ● 此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們  |
| 凈重 | 120Kg |
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