當前位置:深圳市科晶智達科技有限公司>>實驗設備>>CVD(化學氣相沉積)>> OTF-1200X-80-SL 單管滑動快速加熱冷卻爐
單管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-80-SL是一款CE認證的可滑動管式爐,配置dia3"x55" 石英管,工作溫度達1200°C。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率可達100°C/m。為取得加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。
性能指標和基本配置 | |
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爐體結(jié)構(gòu) | ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng),使得爐體表面溫度小于60℃ |
功率 | 2.5KW |
電壓 | AC 208-240V單相,50/60 Hz |
溫度 | 1200 °C(<1 小時) |
連續(xù)工作溫度 | 1100 °C |
加熱和冷卻速率 | Heating Rate: Cooling Rate: |
管徑 | 高純石英管OD: 3.2" x ID: 3.0" x Length: 55" |
加熱區(qū)長度 | 40mm(單溫區(qū)) |
溫度控制器和表 | 通過PMW固態(tài)繼電器30段PID自動控制,帶過熱保護 |
溫度精度 | +/ - 1℃ |
真空密封法蘭 | 兩個不銹鋼法蘭,帶數(shù)字真空計和閥 |
真空度 | 決定于真空泵(分子泵可到10-5Torr) |
真空計 | ● 防腐型復合真空計(皮拉尼和隔膜規(guī)) |
滑軌 | ● 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌 |
尺寸 | ● 550 x 380 x 520 mm (爐子) |
凈重 | 大約80Kg |
運輸包裝尺寸 | 45x45x35cm |
重量 | 300Kg |
可選 | 為了獲得精確的爐管內(nèi)溫度,建議您校正溫場分布 |
國家 | 名稱:一種快速高溫退火爐 |
應用注意事項 | ●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài) ●進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度<1100℃ ●對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
質(zhì)量認證 | CE認證 |
保修期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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