OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生長爐 返回列表頁

● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
● 一個(gè)滑軌安裝在爐體下端，可通過一6“的觸摸屏來控制爐體移動(dòng)方向、滑動(dòng)速度和往返次數(shù)
● 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有美國進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率和延長使用壽命。

1.5KW

AC220V，單相

1200℃（≤1小時(shí)）

1100℃

● 加熱區(qū)：200mm(單溫區(qū)）
● 通過管堵位置和爐體移動(dòng)可形成想得到的溫度梯度

摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有高溫氧化鋯涂層，可延長其使用壽命）

● 高純石英管
● 尺寸：50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L
● 儀器加熱前，必須放入管堵，以防止熱量輻射影響法蘭的密封性

● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升溫、降溫和保溫程序
● 設(shè)置有溫度過高和斷偶保護(hù)系統(tǒng)
● 控溫精度：±1℃
● 可選測(cè)PC控制軟件，將升溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中

● 觸摸屏控制
● 爐體移動(dòng)有手動(dòng)和自動(dòng)控制兩種控制狀態(tài)，在手動(dòng)狀態(tài)和自動(dòng)狀態(tài)下均可設(shè)定左右移動(dòng)的速度，但只有在自動(dòng)狀態(tài)下才能設(shè)定左右移動(dòng)的次數(shù)。
● 含蜂鳴報(bào)警器，當(dāng)爐體觸碰到限位開關(guān)就會(huì)產(chǎn)生報(bào)警，并切斷控制電路，使?fàn)t體停止移動(dòng)。
● 可顯示高溫爐內(nèi)的爐溫，與之通訊

● 儀器中配有一套不銹鋼密封法蘭（上面已安裝不銹鋼針閥和機(jī)械壓力表）
● 法蘭上有一Φ6.35的鎧裝孔，可將熱電偶插入到爐管中，更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品的實(shí)際溫度

可選配石英氣體噴嘴，將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開通入，可有效減少副反應(yīng)發(fā)生，實(shí)現(xiàn)CVD工藝，如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝（ALC CVD）或單晶二維材料薄膜的生長工藝等。

● 10E-5 torr （用分子泵）
● 10E-2?torr?（用直聯(lián)式機(jī)械泵）

1200mm

● 315 x 300 x 380 mm (爐體)
● 1200 x 400 x 530 mm ( 整個(gè)外形)
● 360 x 180 x 300 mm（電器控制柜）

100Kg

CE certified