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當前位置：深圳市科晶智達科技有限公司>>實驗設備>>CVD(化學氣相沉積)>> OTF-1200X-S50-2F 1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)
OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個數(shù)字式真空顯示計，右法蘭上安裝有一KF-25接口，可以與機械泵相連接（抽速為226L/m）。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序，其控溫精確度為+/- 1 ℃ 。
| 性能指標和基本配置 | |
|---|---|
| 爐體結構 | ● 采用雙層殼體 |
| 功率 | 1.75KW |
| 電壓 | AC -220V |
| 溫度 | ● 工作溫度：1200℃（< 1hr） |
| 爐管 | 石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length) |
| 加熱區(qū) | 加熱區(qū)長度: 8" (200mm) |
| 溫控系統(tǒng) | ● PID30段程序化控溫 |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有氧化鋯涂層，使其延長使用壽命） |
| 兩路混氣系統(tǒng) | ● 兩個浮子流量計量程為16 —100mL/min |
| 真空法蘭和配件 | 結構 |
| 防腐型真空計 | 本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。（點擊圖片查看詳細介紹） |
| 真空泵 | 我公司有多種真空泵可選，請點擊圖片，或是致電我公司銷售 |
| 產品凈重 | 100 lbs |
| 運輸重量 | 200 lbs |
| 外形尺寸 | ● 爐體:340 x 300 x 400mm |
| 開門斷電 | 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計 |
| 應用注意事項 | ● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，● 以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
| 質量認證 | 所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證/CE認證 |
| 保修期 | 一年保修，終身技術支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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