當前位置:深圳市科晶智達科技有限公司>>實驗設備>>薄膜制備設備>> OTF-1200X-RTP-II-5 5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐
OTF-1200X-50-PE-SL 小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)
OTF-1200X-50S-PE 小型PECVD管式爐系統(tǒng)
OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)
OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速熱處理爐,其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設備專門實際針對于熱蒸發(fā)或CSS(Close Spaced Sublimation)鍍膜實驗,其載樣臺尺寸5"x5"。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部),升溫速率為20oC/s 。采用PID方式進行溫度調節(jié),可設置30段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口,可配用控制軟件將升溫程序和溫度曲線都導入到電腦中。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,如CdTe、硫化物和鈣鈦礦結構太陽能電池,這是一款理想的實驗工具。
性能指標和基本配置 | ||
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結構 | ● 采用兩個溫度控制器,分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計,可向真空腔體中通入氣體 | |
基本參數 | ● 工作溫度:800℃ 推薦加熱速率:≦10℃/s(每個溫區(qū)單獨加熱) | |
加熱元件和載樣臺 | ● 由兩組紅外燈管作為加熱元件,分別位于頂部和底部 | |
真空法蘭 | ● 真空法蘭為316不銹鋼制作 | |
溫控系統(tǒng) | ● 兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨立控制上下兩個加熱區(qū),可設置30段升降溫程序 | |
熱電偶 | 兩個K型熱電偶,安裝在頂部和底部,都與氮化鋁陶瓷片相接觸 | |
可選 | ● 實驗時需要一個真空泵,可與本公司選購真空泵 | |
尺寸 | 1085mm L x 680mm W x 1710mm H | |
使用注意事項 | ● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa | |
國家 | ● 名稱:可調短距離快速升降溫蒸鍍爐及其制造方法 | |
認證 | 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。 | |
保修期 | 一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 | |
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