GSL-1100X-RTP50 1100℃快速熱處理爐 返回列表頁

● 配置單端封口石英管，一滑軌安裝在右側(cè)法蘭處用于爐管的手動(dòng)移動(dòng)
● 管子一端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機(jī)械泵可到10-3Torr。
● 法蘭處可插入一根直徑1/4"熱偶用來監(jiān)測(cè)管內(nèi)實(shí)際溫度

● 電壓：AC208-240V，50/60Hz
● 功率：2.5KW

1100℃

±1℃

152mm

100mm（±1℃）

硅碳棒4根

2個(gè)S型熱電偶：1根用于測(cè)量和控制爐體溫度，1根用于監(jiān)測(cè)爐管內(nèi)樣品的實(shí)時(shí)溫度

● 兩個(gè)溫區(qū)分別由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序
● 設(shè)置有超溫和斷偶保護(hù)
● 控溫精度為±1℃
● 設(shè)備面板上帶有RS485通訊接口
● 可選購(gòu)PC控制模塊，可采用電腦來設(shè)置和顯示溫度曲線

加熱速率: 冷卻速率:
30°C/sec (RT - 500°C); 16°C/sec (1100°C - 800°C);
12°C/sec (500°C - 800°C); 9°C/sec (800°C - 600°C);
5°C/sec (800°C - 900°C); 5°C/sec (600°C - 500°C);
3.6°C/sec (900°C - 1000°C); 3.6°C/sec (500°C - 400°C);
1°C/sec (1000°C - 1100°C); 2.5°C/sec (400°C - 300°C);

● 單端封口高純石英管
尺寸：50mm OD×44mm ID×304.8mm L
工作溫度：1100℃（常壓下）

● 可選：CF高真空法蘭
溫度：1000℃，10-6Torr
1000℃（真空下）

● 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌
● 滑動(dòng)長(zhǎng)度：350mm

● 管子一端安裝真空法蘭，標(biāo)配一機(jī)械壓力表
● 法蘭處可插入一根直徑1/4"熱偶用來監(jiān)測(cè)管內(nèi)實(shí)際溫度

● 取決于所選真空泵（真空泵不在標(biāo)配中）
● 10-5Torr（采用分子泵）
● 10-2Torr(采用機(jī)械泵)

400mm L×305mm W×530mm H

~45kg

可利用此設(shè)備DIY構(gòu)建快速熱蒸發(fā)以及物理化學(xué)氣相沉積工藝，如下圖：

CE認(rèn)證