GSL-1350-ISE是一款溫控型可插入式蒸發(fā)儀,適用于蒸發(fā)各種金屬和有機(jī)材料,其溫度可達(dá)1350℃
GSL-1350-ISE是一款溫控型可插入式蒸發(fā)儀,適用于蒸發(fā)各種金屬和有機(jī)材料,其溫度可達(dá)1350℃。采用磁流體密封,可保證在旋轉(zhuǎn)的腔體中進(jìn)行PVD實(shí)驗(yàn)。KF50的旋轉(zhuǎn)式快接法蘭,可非常方便地與各種真空腔體對(duì)接。此模塊還配有一進(jìn)氣閥,用于通入氣體對(duì)腔體進(jìn)行清洗和排氣,保證樣品在蒸鍍過(guò)程中不被氧化。
性能指標(biāo)和基本配置 |
結(jié)構(gòu) & 特點(diǎn) | ● 此蒸鍍系統(tǒng)升溫可以手動(dòng)和自動(dòng)兩種模式。手動(dòng)模式可以快速加大電流,達(dá)到快速加熱蒸發(fā),但溫控性較差。自動(dòng)控制控溫較準(zhǔn)確。 ● 采用鎢線圈加熱,氧化鋁坩堝裝料,其溫度可達(dá)1350℃ ● 精確控溫,可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可達(dá)+/- 1 oC ● Φ6.35mm進(jìn)氣口,可向蒸鍍腔體中通入氣體 |
電源 | 電壓:208 - 240 VAC 50/60 Hz, 單相, 500W |
溫控系統(tǒng) & 加熱源 | ● 工作溫度: 1350oC (<1hr)., 連續(xù)工作溫度:1200℃ ● 500WDC蒸發(fā)電源,電流30A ● 鎢絲加熱,S型熱偶測(cè)溫,氧化鋁坩堝裝樣 ● 溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度:+/- 1 oC ● 建議升溫速率< 30 oC/min ● 若長(zhǎng)期工作在800℃以上,必須用高溫棉填滿耐火保溫層與坩堝之間的間隙??蓽p少鎢絲加熱元件的損耗。 |
樣品坩堝 | ● 配有0.7ml的氧化鋁坩堝 ● S型熱電偶嵌在坩堝底部,用于精確測(cè)量加熱溫度 |
進(jìn)氣口 | ● 6.35進(jìn)氣口,用于向蒸鍍腔體中通入氣體 ● 一個(gè)針閥安裝在進(jìn)氣口后端,用于控制其氣體流量 |
可選 | 可選購(gòu)快接法蘭,接口為KF50,可與Φ50mm爐管對(duì)接 |
認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
保修期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。 |
暫無(wú)內(nèi)容
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