VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀 返回列表頁

● 輸入電源：220VAC 50/60Hz
● 濺射電流：0-150 mA可調(diào)
● 功率：＜2KW
● 輸出電壓：1600VDC

● 采用石英腔體，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H
● 密封：采用O形密封圈密封

● 2英寸帶水冷的磁控濺射頭（注意：水冷機(jī)不是標(biāo)配）另有1英寸靶頭可選（圖一）
● 一個(gè)直徑50mm不銹鋼樣品臺(tái)，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào) （圖五）
● 安裝有一可手動(dòng)操作的濺射擋板（圖二、三）
● 樣品臺(tái)和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍：30-80mm（圖二、三）
● 靶頭支架，可以在非濺射狀態(tài)放置濺射靶頭（圖四）

圖1 圖2 圖3 圖4 圖5

實(shí)驗(yàn)效果

● 安裝有KF25真空接口
● 數(shù)字真空壓力表（Pa）
● 此系統(tǒng)運(yùn)行需要Ar氣，并且氣瓶上安裝有減壓閥（設(shè)備中不包含）
● 采用機(jī)械泵<1.0E-2 Torr（參考值，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）
● 采用渦旋分子泵<1.0E-5 Torr（參考值，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）
● 可在本公司選購各種真空泵

● 含一個(gè)控制進(jìn)氣的針閥和一個(gè)放氣閥
● 本設(shè)備接氣需要安裝減壓閥（可在我公司選購減壓閥）

● 靶材尺寸要求：Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度)
● 適合濺射Au,Ag,Cu,Al,Ti,等金屬（可在我公司選購）

● 可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上（見圖一）
● 可選加熱樣品臺(tái)，可加熱500℃（見圖二、三）
● 可選浮子流量計(jì)來精確控制進(jìn)氣量（見圖四）

圖1 圖2 圖3 圖4

● 有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度，需要多次濺射鍍膜
● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈
● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面
● 超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：（1）丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?）真空烘箱除去水分
● 等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物
● 制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力
● 此濺射鍍膜機(jī)可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射

超聲波清洗機(jī) 等離子清洗機(jī) 大功率磁控濺射儀 手套箱

● 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體。
● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。
● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

CE認(rèn)證