OTF-1200X-4-NW 生長(zhǎng)納米線的CVD爐(英文版操作視頻)

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OTF-1200X-4-NW是一種緊湊型CVD爐,專為生長(zhǎng)各種納米線而設(shè)計(jì),基片3英寸. 在法蘭的左側(cè)裝有一個(gè)小加熱器,可對(duì)輸入的氣體、液體、固體進(jìn)行預(yù)加熱,然后 進(jìn)入 CVD 爐進(jìn)行納米線的生長(zhǎng), 可滑動(dòng)的樣品架使操作更為簡(jiǎn)單.
性能指標(biāo)和基本配置 | |
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爐子和預(yù)加熱器 | ● 緊湊型CVD爐是由OTF-1200X-4 單溫區(qū)爐演變而來 : ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 ● 石英管:4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" L 工作溫度:1100oC ● 右邊帶樣品支架的法蘭是滑動(dòng)的,方便操作在加熱器和CVD爐之間的法蘭是預(yù)加熱氣體的通道,同時(shí)也起密封作用。 ● 在爐子左側(cè)的小加熱器是對(duì)輸入CVD 爐的氣體、液體、固體或混合物進(jìn)行預(yù)加熱 ● 1.2''O.D x 6''L SS 作為加熱腔小加熱器工作溫度:600oC ● 左邊法蘭具有密封和氣體通道的作用。 詳細(xì)結(jié)構(gòu)請(qǐng)看下圖 ![]() |
加熱區(qū) | ● CVD 爐: 400mm ● 小加熱器: 150mm |
工作溫度 | CVD 爐: ● 工作溫度: 1100°C ( < 2 hour ) ● 連續(xù)工作溫度: 200~1000°C ● 升溫和降溫速度: 10°C/min 小加熱器: ● 連續(xù)工作溫度: 0~500°C ● 升溫和降溫速度: 10°C/min |
溫度控制 | ● CVD 爐和加熱器: ● PID/自整定的數(shù)字控制,具有 30段可控程序 ● 熱偶: K type ● 控溫精度: +/- 1°C ● 可用計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制,相關(guān)硬件和軟件如下(選配) ![]() |
真空和密封法蘭 | ● CVD 爐: 右法蘭 ● 水冷避免O型圈融化(水冷機(jī)可選配) ● KF25 真空 快接 (可與真空泵、波紋管、真空閥等連接) ● 可滑動(dòng)使客戶操作更簡(jiǎn)單:樣品可快速 送入和取出 ● 一個(gè)石英樣品支架 ( 3"dia. ):與石英擋板滑動(dòng)法蘭連成一體 ● 左法蘭 (在CVD 爐和小加熱器之間):裝有4個(gè) 1/4'' 卡套連結(jié)的通氣管 ● 法蘭上有兩個(gè)獨(dú)立 1/4''口,可單獨(dú)將任何氣體通入 CVD 爐 ● 一路 1/4'' 口將預(yù)熱氣體通入CVD 爐 ● 一路1/4''口將不加熱的氣體通入CVD 爐(在 CVD 爐內(nèi), 通過“T"型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合。) |
額定電壓 | 單相, 220V AC, 50/60 Hz, |
額定功率 | 3KW (要求20 A 空開) |
外形尺寸 | 1200(L)X450(W)X510(H)mm |
重量 | 100kg |
質(zhì)保期 | 電器部分保修一年. ( 耗材:爐管、O型圈、加熱元件等不在保修范圍內(nèi)) |
質(zhì)量認(rèn)證 | ![]() |
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