OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL 滑動式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng) 返回列表頁

OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL

2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L 3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L 5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L

●與傳統(tǒng)的CVD相比，只需較低的制備溫度
● 滑軌式可快速加熱和快速冷卻
● 兩個加熱區(qū)，溫度梯度可達(dá) 200oC
● 工作溫度1100°C
● 提供一個寬范圍的材料制備 ，如碳和 ZnO 納米管或納米線以及單層石墨烯。
● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

● 輸出功率:5 -500W ± 1% .
● 射頻頻率:13.56 MHz ±0.005% .
● 反射功率: 200W
● 匹配:自動
● 射頻接口:50 Ω, N-type
● 噪音:<50 dB
● 冷卻: 風(fēng)冷.
● 電源:AC 208-240V, 50/60Hz

● 我公司有多種真空泵可選，請點(diǎn)擊圖片，或是致電我公司銷售。

● KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連.
● 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
● 防腐型真空計(jì)( 美國) 安裝在左法蘭上.
本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）

四個精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度0.02% ) ：
● 數(shù)字顯示，自動控制.
● MFC 1范圍: 0~100 sccm
● MFC 2和3: 0~200 sccm
● MFC 4范圍: 0~500 sccm
● 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口.
● 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體.
● 進(jìn)氣口: 4個1/4NPS.
● 出氣口: 4個 1/4NPS.

● 計(jì)算機(jī)可以通過控溫軟件控制爐子：RS485 接口和軟件是免費(fèi)的，但需要購買數(shù)據(jù)線和一個控制模塊
● 為了獲得較大的升溫速度, 必須預(yù)熱到設(shè)定溫度，然后將爐子滑到樣品位置。
● 為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區(qū)滑到冷區(qū).

● 爐體: 550 x 380 x 520 mm
● 滑軌: 1750 mm 長
● 移動架: 1200 x 1200 x 600mm.

● 凈重: 220 Lbs.
● 運(yùn)輸重量: 500lbs.

● 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)

名稱：可組合式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置
編號：ZL-2011-2-0355777.1
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所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證