深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
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GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間：2025-01-26 16:07:14瀏覽次數(shù)：4次

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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜
GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜。
功能特點(diǎn)
  • 設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。
  • 通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得鍍膜效果。
  • 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
  • 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
  • 根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
  • 已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水 不需要
電 AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
工作臺(tái) 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風(fēng)裝置 不需要
電源 220V
總功率 <2000W（包括真空泵）
真空室 ?160mm×120mm
樣品臺(tái) ?50mm，且高度可調(diào)，可同時(shí)進(jìn)行8個(gè)SEM樣品的鍍膜
均勻鍍膜 ?45mm
尺寸 400mm×300mm×400mm
重量 30kg
可選配件 金、銦、銀、鉑等各種靶材
標(biāo)準(zhǔn)配件 1 金靶材 1個(gè)
2 進(jìn)氣針閥 1個(gè)
3 保險(xiǎn)絲 2個(gè)
暫無(wú)內(nèi)容
暫無(wú)內(nèi)容

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