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GPC-100A精確磨拋控制儀簡稱磨拋控制儀，主要用來控制被研磨樣品表面的平面度和平行度，使磨拋后的樣品具有高的尺寸精度和質量優(yōu)良的表面狀態(tài)。磨拋控制儀采用質量優(yōu)良的不銹鋼材料制成，外形美觀，制造工藝，主要適用于UNIPOL-1202、UNIPOL-1502研磨拋光機上，是工件進行磨拋時的精密磨拋器具，尤其適用于晶圓樣品、表面平行度和平面度要求高的大的圓片狀樣品的研磨。GPC-100A精確磨拋控制儀專用載樣塊用螺紋與控制儀進行連接，試樣裝卡方式為真空吸附，并配有數顯厚度測量儀，可實時監(jiān)測樣品減少的厚度，承載樣件直徑不大于103mm、厚度不大于13mm且具有工藝重復性高的優(yōu)點。
| 性能指標和基本配置 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 主要特點 | 可嚴格控制被磨樣品表面的平行度和平面度，控制準確度高。研磨過程中可搭配數顯測厚儀使用，隨時觀測樣品磨削量，尤其適用于表面平行度和平面度及樣品厚度要求高的晶圓樣品研磨使用。 | |||
| 技術參數 | ● 載樣盤直徑：?103mm | |||
| 產品規(guī)格 | 尺寸：外徑146mm，高266mm | |||
| 標準配件 | ● 真空泵 | |||
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