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當(dāng)前位置：深圳市科晶智達科技有限公司>>實驗設(shè)備>>CVD(化學(xué)氣相沉積)>> OTF-1200X-4-III-9HV 1200°C三溫區(qū)九通道混氣高真空CVD系統(tǒng)
OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE認證的九通道高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)，齊爐管直徑為4英寸，它是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機組組成，其溫度可達1200℃，極限真空可達to 10^-5 torr，混氣系統(tǒng)可以對1-9種氣體進行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
| 性能指標和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 管式爐 | 殼體結(jié)構(gòu) | ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度小于60度 。 |
| 加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，使其延長加熱元件的壽命） | |
| 工作溫度 | 1200°C | |
| 連續(xù)工作溫度 | 1100°C | |
| 升溫速率 | ≤20°C/min | |
| 加熱區(qū)長度 | ● 總溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total) | |
| 爐管尺寸和材質(zhì) | 材質(zhì)：高純石英管 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm | |
| 溫控系統(tǒng) | ● 三個數(shù)字精密溫度控制器，可設(shè)置50段升降溫程序，每個溫區(qū)可以進行獨立控溫。 ● PID調(diào)節(jié)與自動調(diào)整功能,確保溫度穩(wěn)定在+/ - 1 °C。 ● 帶有過熱和斷偶保護。 | |
| 熱電偶 | 3根K型熱電偶 | |
| 輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：7KW | |
| 真空配件 | 標準的真空配件包括： ● 兩個不銹鋼真空密封法蘭與kf 25抽氣接口。 ● 兩個精密針閥和一個1/4“軟管接頭。 ● 6個高溫硅膠O型密封圈，可承受溫度300°C。 ● 為了防止熱量以熱輻射的形式散失，高溫損壞密封圈，爐子在加熱前必須放入氧化鋁管堵。 ● 一根KF-40 抽真空波紋管。 ● 三個KF-40 快速卸裝卡箍。 ● 2個KF-25 快速卸裝卡箍 | |
| 高真空機組 | 結(jié)構(gòu) | ● 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm |
| 真空傳感器 | ● 真空傳感器有一個kf 25接口 | |
| 控制面板 | ● 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后，分子泵自動啟動） ● 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率。      | |
| 抽氣速率 | ● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s | |
| 工作范圍 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
| 極限 | 10^-5 torr (with tube furnace) | |
| 輸入電源 | 110V AC or 220V AC可切換的, 50/60Hz | |
| 消耗功率 | 持續(xù)時間/功率: 100/110Watt | |
| MFC 質(zhì)量流量控制器 | ● 9通道精密質(zhì)量流量控制器，安裝在移動架上，并帶有數(shù)字顯示。 | |
| 運輸信息 | ● 爐子尺寸: 550 x 380 x 520mm | |
| 重量 | 凈重: 100Kg | |
| 應(yīng)用注意事項 | ● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） | |
| 質(zhì)量認證 |  CE certified | |
| 保修期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 | |
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