GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng) 返回列表頁

●采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃
●爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，減少能量損失
●內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
●三個(gè)溫區(qū)分別被三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

9 KW(需要75A的空氣開關(guān) )

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

●總加熱區(qū)長度: 25" (630 mm)
●加熱溫區(qū)1長度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，溫度可達(dá)1400℃
●升溫速率: 10°C/min
●加熱溫區(qū)2長度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱，溫度可達(dá)1700℃
●升溫速率: 5°C/min
●加熱溫區(qū)3長度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，溫度可達(dá)1400℃
●升溫速率: 10°C/min

●99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube
●（標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm)L
●（選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1200mm L
●一對(duì)60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表
●儀器中包括4個(gè)氧化鋁管堵

3個(gè)溫控系統(tǒng)，都是PID30段程序化控溫

+/- 1℃

● 采用雙旋機(jī)械泵，其針對(duì)于本公司的管式爐，真空度可達(dá)到 10-2 Torr.
● 一個(gè)KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上，其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式爐上的法蘭相連接

可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）

● 3個(gè)浮子流量計(jì)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上，可以推動(dòng)，可同時(shí)混入三種不同氣體。
● 路氣體流量范圍為10-100 cc/min
● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min
● 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上，壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接
● 移動(dòng)架上安裝有4個(gè)不銹鋼針閥

高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)