深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
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GSL-1100X-XX-III 1100℃三溫區(qū)大口徑管式爐

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2025-01-27 07:30:31瀏覽次數(shù):3次

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GSL-1100X-XX-III是CE認(rèn)證的三溫區(qū)大口徑管式爐,此系列管式爐可選擇三種爐管直徑:6英寸(152mm)、8.5英寸(216mm)和11英寸(279mm)

GSL-1100X-XX-III是CE認(rèn)證的三溫區(qū)大口徑管式爐,此系列管式爐可選擇三種爐管直徑:6英寸(152mm)、8.5英寸(216mm)和11英寸(279mm)。設(shè)備加熱溫度可達(dá)1100℃,控溫精度為+/-1℃并可設(shè)置30段升降溫程序。此款設(shè)備配有鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm,可對(duì)材料在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行熱處理。

性能指標(biāo)與基本配置
名稱 1100℃三溫區(qū)大口徑管式爐GSL-1100X-XX-III
產(chǎn)品提示 1、大體積設(shè)備提示 2、多種配件可選提示
設(shè)備型號(hào) GSL-1100X-6-III GSL-1100X-8.5-III GSL-1100X-11-III
高純石英管尺寸 152 OD x 143 ID x 1300mm L 216 OD x 206 ID x 1300mm L 279 OD x 269 ID x 1300mm L
石英舟(可選) 可兼容4"直徑基片 可兼容6"直徑基片 可兼容8"直徑基片
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爐體結(jié)構(gòu) ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃(參考值,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)

● 設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵,設(shè)備使用時(shí)必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性)(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命)

● 該爐可作為退火或擴(kuò)散爐,可用于8"晶片放在對(duì)應(yīng)石英舟中

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基本參數(shù) ● 熱偶:K型熱偶

● 建議升溫速率:≤10℃/min

● 溫度:1000℃ (1100℃<1h)

● 電源:AC220,50Hz

● 功率:8KW

加熱區(qū) 加熱區(qū)長(zhǎng)度:900mm (三溫區(qū):300mm+300mm+300mm)
加熱元件 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命)
密封法蘭 ● 采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機(jī)械泵可使真空度達(dá)到10-2Torr(參考值,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)

● 可選購一套溫度測(cè)試裝置(鎧裝熱偶、補(bǔ)償導(dǎo)線和溫度儀表),用于測(cè)試爐管內(nèi)部的溫度

● 左側(cè)水冷法蘭:真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4"寶塔嘴接頭

● 右側(cè)水冷法蘭:kf40真空接口,方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥。(如果您的泵是kf25接口,你需要一個(gè)kf40-kf25轉(zhuǎn)接頭)

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溫控系統(tǒng) ● 包含一款YD518P型溫度控制器

● PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

● 智能化30段可編程控制

● 控溫精度:±1℃

● 兩個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

● 通過MET認(rèn)證

● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

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溫度校準(zhǔn)(可選) ● 定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項(xiàng)工作,完整的校準(zhǔn)套件包括

● 48"L(1/4"OD)K型熱電偶校準(zhǔn)

● 一Omega溫度校準(zhǔn)器

● 熱電偶補(bǔ)償線

● 你可以考慮分子泵,真空度可達(dá)10-5Torr

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外形尺寸 1880 L x 700W x 930 H mm
凈重 約200 kg
質(zhì)保期 ● 一年保修,終身技術(shù)支持。

● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

● 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

真空系統(tǒng) ● 多種真空系統(tǒng)可選

● 可選購一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染

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質(zhì)量認(rèn)證 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

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使用注意事項(xiàng) ● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

● 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

暫無內(nèi)容
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