OTF-1200X-50S-PE 小型PECVD管式爐系統(tǒng) 返回列表頁(yè)

● 輸入電源：208 – 240V AC, 1.2kW
● 工作溫度1200℃（小于1小時(shí)）
● 連續(xù)使用溫度1100℃
● 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，并且表面涂有美國(guó)進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可延長(zhǎng)儀器使用壽命和提高加熱效率
● 高純石英爐管，尺寸為 50mmOD x 44mmID x 780mmL
● 可設(shè)置30段升降溫程序，并帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)
● 加熱區(qū)長(zhǎng)度為200mm
注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷(xiāo)售人員聯(lián)系

● 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
● 穩(wěn)定性為+/-1%
● 射頻電源頻率13.56 MHZ, 穩(wěn)定性±0.005%
● 反向功率: 200W max
● 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體, 陰極
● 噪聲<50 dB.
● 冷卻方式：空氣冷卻
● 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz

● 真空法蘭采用304不銹鋼制作
● 左端法蘭上安裝有防腐型數(shù)字真空計(jì)、不銹鋼針閥和一個(gè)球閥。
● 右端法蘭設(shè)計(jì)為KF25接口，上面配有泄氣閥，擋板閥和兩個(gè)KF25卡箍
● 儀器中所配的數(shù)字真空計(jì)，可以不用因使用氣體的不同而進(jìn)行校正，同時(shí)還具有防腐功能

● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W
● 2L/s
● 與本公司管式爐配套使用，可使其真空度達(dá)到10-2 torr
● 進(jìn)氣端帶有儲(chǔ)氣球（防止回油），出氣端安裝有油霧過(guò)濾器（防止油霧擴(kuò)散到空氣中，保護(hù)環(huán)境和人體健康）

外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)
凈重: 160 lbs

● 請(qǐng)點(diǎn)擊查看下面的混氣及氣液混合系統(tǒng)
● 防腐型小型三路浮子混氣系統(tǒng)
● 精密氣液混合系統(tǒng)
● 三路質(zhì)子混氣系統(tǒng)

● 3個(gè)浮子流量計(jì)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上，可以推動(dòng)，可同時(shí)混入三種不同氣體。
● 路氣體流量范圍為10-100 cc/min.
● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
● 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上，壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ，來(lái)監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力

● 為保證使用安全，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì)

CE Certified