OTF-1200X-50-PE-SL 小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng) 返回列表頁(yè)

● 與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進(jìn)行氣相沉積實(shí)驗(yàn)
● 可以通過(guò)爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫
● 對(duì)于薄膜的應(yīng)力可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)進(jìn)行控制
● 通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量
● 可以沉積各種材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等.

● 輸入電源: 208 – 240V AC,功率： 1.2kW
● 工作溫度1200°C，小于60分鐘
● 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù)）
● 連續(xù)工作溫度1100°C
● 爐管采用高純石英管：50mmOD x 44mmID x 1000mm L
● 可設(shè)置30段升降溫程序，并且?guī)в羞^(guò)熱和斷偶保護(hù)功能
● 加熱區(qū)長(zhǎng)度：200mm 單溫區(qū).
以下圖片顯示加熱區(qū)的溫度曲線圖

● 輸出功率: 5 -300W 可調(diào) 穩(wěn)定性± 1%
● 射頻電源頻率: 13.56 MHz 穩(wěn)定性±0.005%
● 反向功率: 200W
● 匹配:自動(dòng)
● 射頻電源電子輸出端口: 50 Ω, N型半導(dǎo)體, 陰極
● 噪音: <50 dB.
● 冷卻:風(fēng)冷
● 電源: 208-240VAC, 50/60Hz

● 真空法蘭采用 304不銹鋼制作.
● 左端法蘭上安裝有 KF-25真空接口，2個(gè)KF-25快速卸裝卡箍，KF-25直角閥，KF-25真空波紋管和1/4軟管接頭和不銹鋼針閥

● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W
● 2 Liter /S
● 出氣端安裝有油霧過(guò)濾器（防止油霧擴(kuò)散到空氣中，保護(hù)環(huán)境和人體健康）
● 真空度: 10-2 torr
可選水冷機(jī)：

1500mm x 600mm x 1200mm ( L x W x H)

160kg

CE Certified