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GSL-1100X-50-LVT 1100℃帶校準系統(tǒng)管式爐
OTF-1200X-S2-50SL 1200℃小型雙爐體滑動管式爐
OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱,升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
性能指標和基本配置 | ||
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爐體結(jié)構(gòu) | ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃(參考值,詳情請點擊)
圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 圖6 | |
基本參數(shù) | ● 熱偶:K型熱偶 | |
高純石英管尺寸 | 尺寸:50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm) | |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命) | |
加熱區(qū) | 每個加熱爐加熱區(qū)長度:200mm | |
密封法蘭 | ● 一對SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi) 圖1 圖2 圖3 | |
溫控系統(tǒng) | ● 包含一款808P型溫度控制器 | |
可選 | ● 可選購電動滑軌(圖一) 圖1 圖2 圖3 圖4 | |
溫度校準(可選) | ● 定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括: | |
滑軌 | ● 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 | |
真空系統(tǒng)(可選) | ●用機械泵真空度達 50 mtorr | |
尺寸 | ● 爐體:340mm L x 330mm W x 400mm H | |
凈重 | 80Kg | |
使用注意事項 | ● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa | |
應用提示 | ·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭。 | |
認證 | 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。 | |
保修期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務承諾書。 | |
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