深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
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OTF-1200X-II 1200℃雙溫區(qū)管式爐

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2025-01-27 08:26:01瀏覽次數(shù):3次

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OTF-1200X-II是通過CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐,其溫度可達(dá)到1200℃,并可通過調(diào)節(jié)兩個(gè)溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場(chǎng)形成一溫度梯度

OTF-1200X-II是通過CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐,其溫度可達(dá)到1200℃,并可通過調(diào)節(jié)兩個(gè)溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場(chǎng)形成一溫度梯度。兩個(gè)溫區(qū)分別由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制,而且都為PID30段程序化控溫。此系列管式爐可以用CVD方法來生長(zhǎng)納米材料和制備各種薄膜。

性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)

● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃
● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命)
● 可選購(gòu)石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度
● 設(shè)有開門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性

基本參數(shù)

● 熱偶:K型熱偶
● 建議升溫速率:≤10℃/min
● 溫度:1100℃ (1200℃<1h)
● 電源:AC220,50Hz
● 功率:3KW

高純石英管尺寸

高純石英管尺寸:
● 25 O.D x 19 I.D
● 50 O.D x 44 I.D
● 60 O.D x 55 I.D
● 80 O.D x 75 I.D
● 100 O.D x 95 I.D

加熱區(qū)

加熱區(qū)長(zhǎng)度:400mm (雙溫區(qū):200mm+200mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命)

密封法蘭

● 采用一對(duì)SS304不銹鋼真空法蘭與高溫硅膠密封圈密封
● 兩個(gè)針閥已分別安裝在兩個(gè)法蘭上(下圖)
● 一個(gè)真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭(下圖)
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可選

● 法蘭上標(biāo)配安裝的是Φ8的寶塔嘴接頭
● 為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉(zhuǎn)接頭
● 為了較好地向爐管中通入氣體可以配用1/4"的不銹鋼卡套接頭
● 可選:您可以選購(gòu)kf25真空口法蘭
● 可選:您可以訂購(gòu)法蘭支架

溫控系統(tǒng)

● 包含一款YD518P型溫度控制器
● PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)
● 智能化30段可編程控制
● 控溫精度:±1℃
● 兩個(gè)溫區(qū)分別有兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口
● 通過MET認(rèn)證
● 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
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溫度校準(zhǔn)(可選)

● 定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購(gòu)一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項(xiàng)工作,完整的校準(zhǔn)套件包括
● 48”L(1/4”OD)K型熱電偶校準(zhǔn)
● 一Omega溫度校準(zhǔn)器
● 熱電偶補(bǔ)償線
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真空系統(tǒng)

● 通過機(jī)械泵可達(dá)到50mTorr
● 通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr
● 可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染
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外形尺寸

1250 L x 380W x 520 H mm

凈重

約45Kg

使用注意事項(xiàng)

● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
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● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
● 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

應(yīng)用提示 ● 如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭
● 為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度,在使用前需要校準(zhǔn)溫度,請(qǐng)點(diǎn)擊這里了解如何使用
● 你可以每個(gè)溫區(qū)設(shè)置不同溫度來構(gòu)造CVD沉積的溫度梯度,點(diǎn)擊鏈接查看如何構(gòu)造溫度梯度。
質(zhì)量認(rèn)證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
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保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
免責(zé)聲明 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息,請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,科晶公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您見諒。
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