OTF-1200X-II是通過CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐,其溫度可達(dá)到1200℃,并可通過調(diào)節(jié)兩個(gè)溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場(chǎng)形成一溫度梯度
OTF-1200X-II是通過CE認(rèn)證的雙溫區(qū)管式爐,其溫度可達(dá)到1200℃,并可通過調(diào)節(jié)兩個(gè)溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場(chǎng)形成一溫度梯度。兩個(gè)溫區(qū)分別由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制,而且都為PID30段程序化控溫。此系列管式爐可以用CVD方法來生長(zhǎng)納米材料和制備各種薄膜。
性能指標(biāo)和基本配置 |
爐體結(jié)構(gòu) | ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃ ● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命) ● 可選購(gòu)石英管堵及石英坩堝,可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度 ● 設(shè)有開門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性 |
基本參數(shù) | ● 熱偶:K型熱偶 ● 建議升溫速率:≤10℃/min ● 溫度:1100℃ (1200℃<1h) ● 電源:AC220,50Hz ● 功率:3KW |
高純石英管尺寸 | 高純石英管尺寸: ● 25 O.D x 19 I.D ● 50 O.D x 44 I.D ● 60 O.D x 55 I.D ● 80 O.D x 75 I.D ● 100 O.D x 95 I.D |
加熱區(qū) | 加熱區(qū)長(zhǎng)度:400mm (雙溫區(qū):200mm+200mm) |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命) |
密封法蘭 | ● 采用一對(duì)SS304不銹鋼真空法蘭與高溫硅膠密封圈密封 ● 兩個(gè)針閥已分別安裝在兩個(gè)法蘭上(下圖) ● 一個(gè)真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭(下圖)  |
可選 | ● 法蘭上標(biāo)配安裝的是Φ8的寶塔嘴接頭 ● 為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉(zhuǎn)接頭 ● 為了較好地向爐管中通入氣體可以配用1/4"的不銹鋼卡套接頭 ● 可選:您可以選購(gòu)kf25真空口法蘭 ● 可選:您可以訂購(gòu)法蘭支架 |
溫控系統(tǒng) | ● 包含一款YD518P型溫度控制器 ● PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) ● 智能化30段可編程控制 ● 控溫精度:±1℃ ● 兩個(gè)溫區(qū)分別有兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 ● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ● 通過MET認(rèn)證 ● 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) | 溫度校準(zhǔn)(可選) | ● 定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購(gòu)一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項(xiàng)工作,完整的校準(zhǔn)套件包括 ● 48”L(1/4”OD)K型熱電偶校準(zhǔn) ● 一Omega溫度校準(zhǔn)器 ● 熱電偶補(bǔ)償線 |
真空系統(tǒng) | ● 通過機(jī)械泵可達(dá)到50mTorr ● 通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr ● 可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
外形尺寸 | 1250 L x 380W x 520 H mm |
凈重 | 約45Kg |
使用注意事項(xiàng) | ● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ ● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
應(yīng)用提示 | ● 如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭 ● 為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度,在使用前需要校準(zhǔn)溫度,請(qǐng)點(diǎn)擊這里了解如何使用 ● 你可以每個(gè)溫區(qū)設(shè)置不同溫度來構(gòu)造CVD沉積的溫度梯度,點(diǎn)擊鏈接查看如何構(gòu)造溫度梯度。 |
質(zhì)量認(rèn)證 | 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。  |
保修期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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