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GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀返回列表頁(yè)

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更新時(shí)間：2022-05-22 19:50:03瀏覽次數(shù)：92次

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GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。本機(jī)特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)安裝了三個(gè)靶，旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。

功能特點(diǎn)

設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。
通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得鍍膜效果。
鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
工作臺(tái)	尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風(fēng)裝置	不需要
靶	?45mm
真空室	?160mm×120mm
真空度	≤4×10-2mbar
靶位	3個(gè)
電流	50mA
可設(shè)定最長(zhǎng)時(shí)間	900s
微型真空氣閥	連接?3mm軟管
電壓	1600V DC
機(jī)械泵	2L/s
可選配件	金、銦、銀、鉑等各種靶材
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	金靶材	1個(gè)
	2	銀靶材	1個(gè)
	3	鋁靶材	1個(gè)
	4	進(jìn)氣針閥	1個(gè)
	5	保險(xiǎn)絲	2個(gè)