微小氣體質(zhì)量流量傳感器
產(chǎn)品簡介：FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳
- 感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時(shí)間快
主要參數(shù)：
性能參數(shù) | FS4001 | 單位 | |
通 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
大流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SCCM |
量程比 | ≥100:1 | ||
精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復(fù)性 | 0.25 | %讀數(shù) | |
零點(diǎn)輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應(yīng)時(shí)間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA | ||
輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
大流量壓損 | 350 | 300 | pa |
大工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲(chǔ)溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH（無結(jié)冰、無凝露） | ||
機(jī)械接口 | 可拆式軟管接頭 | ||
校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa | ||
重量 | 15 | g | |
微小氣體質(zhì)量流量傳感器
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