5英寸旋轉(zhuǎn)CVD管式爐 返回列表頁

爐體結(jié)構(gòu)

• 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
• 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，可以zui大程度減小能量損失
• 直流電機(jī)帶動石英管轉(zhuǎn)動，其轉(zhuǎn)速為0 - 10 RPM
• 爐體可傾斜角度為30°
• 爐體設(shè)計為開啟式，以便于操作和對樣品進(jìn)行快速冷卻

加熱區(qū)

• 三個溫區(qū)總長度：600mm
• 溫區(qū) 1: 150 mm  ( 6")
• 溫區(qū) 2: 300mm  ( 12")
• 溫區(qū)3: 150 mm ( 6")
• 恒溫區(qū)為：450mm@+/-2℃（三個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度）

• 儀器中包含一根石英管
• 尺寸：130 mm O.D. x 120 mm I.D. x 1200 mm L + 60 O.D mm （兩端直徑 )
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• 儀器中包含一套不銹鋼真空法蘭（上面已經(jīng)安裝了不銹鋼針閥）

接頭

• 進(jìn)氣端接口：Φ6.35的卡套接口
• 出氣端接頭：Φ12的寶塔嘴接頭

工作溫度

• 連續(xù)使用溫度：1100℃
• zui高工作溫度：1200℃< 1 h

溫控系統(tǒng)

• 三個溫區(qū)采用三個溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制，都是采用PID方式調(diào)節(jié)，可以設(shè)置30段升降溫程序
• 爐體上安裝有RS485接口，可選購控溫模塊，采用電腦控制爐體升溫

熱電偶

• 三根 Omega K 型鎧裝熱電偶
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真空泵和冷井

• 配有一雙極旋片真空泵，上面安裝有油霧過濾器
• 可以選購冷井，防止實(shí)驗中的沉積物損害真空泵
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供氣系統(tǒng)

• 4通道精密氣體控制系統(tǒng)，采用質(zhì)量流量計，觸摸屏控制，可同時通入1-4種不同氣體
• 注意：如果通入的是易燃易爆型氣體，必須將設(shè)備安裝在通風(fēng)柜中
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zui大功率

4KW

電壓

208 - 240V單相(需要30 A 的空氣開關(guān)）

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不含爐管，密封圈和加熱元件）

質(zhì)量認(rèn)證

• CE認(rèn)證
• 所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認(rèn)證
• 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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凈重

130kg

應(yīng)用注意事項

• 此套設(shè)備可以配合本公司連續(xù)送料裝置來達(dá)到連續(xù)進(jìn)料的效果
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警告

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
• 對于樣品加熱的實(shí)驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）