OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐,其Z高工作溫度可以達(dá)到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐Z多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。
OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐,其zui高工作溫度可以達(dá)到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐zui多可對(duì)4英寸的晶片進(jìn)行退火。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | - 雙層殼體結(jié)構(gòu)
- 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率,保證溫度均勻性
- 此款管式爐也可做為立式爐使用(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)
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功率 | 3KW |
電壓 | 220VAC 50/60Hz |
zui高工作溫度 | 1000℃(<1小時(shí)) |
連續(xù)工作溫度 | 900℃ |
zui大加熱速率 | 20℃/min |
加熱區(qū)
| - 加熱區(qū)長(zhǎng)度:300mm
- 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:
- 100 mm (+/-1ºC )
- 140 mm (+/-2ºC )
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溫控系統(tǒng)
| - 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序
- 帶有超溫和斷偶保護(hù)
- 可選購(gòu)MTS02-B控溫模塊,可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序
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歐陸儀表(可選) | - 可選購(gòu)歐陸3504溫控儀表,可與LABVIEW軟件比配
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控溫精度 | +/- 1°C |
爐管 | - 石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL
- 配有2個(gè)氧化鋁管堵,使用設(shè)備時(shí)應(yīng)放在爐管兩端,保證恒溫區(qū)和法蘭密封性
- 可選購(gòu)石英管堵,提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空
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真空密封法蘭
| - 配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封
- 右端法蘭為KF25接口,用于連接真空泵
- 左端法蘭上安裝有機(jī)械壓力表,接口為1/4英寸卡套接頭,用于連接氣瓶
- 真空度:10-2torr (采用機(jī)械泵)
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- 可選:5英寸的水冷鉸鏈法蘭,并帶有支撐架
- 水冷法蘭通入冷卻水后,設(shè)備zui高溫度可以達(dá)到1100℃(<1小時(shí))
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真空壓力表 | - 安裝有一機(jī)械壓力表,測(cè)量范圍為-0.1~0.15MPa
- 可選購(gòu)數(shù)顯防腐真空計(jì)當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí),不需因測(cè)量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換,測(cè)量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr
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鎧裝熱電偶(可選) | - 可選購(gòu)鎧裝K型熱電偶,通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部,測(cè)量樣品的實(shí)際溫度
- 可選購(gòu)一個(gè)法蘭支撐架,防止?fàn)t管轉(zhuǎn)動(dòng)
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尺寸 | - 爐蓋打開關(guān)閉時(shí): 430mm(L) × 480mm(W) × 480mm(H)
- 爐蓋打開時(shí) : 660mm(L) × 480mm(W) × 720mm(H)
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凈重 | 48 Kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含爐管,密封圈和加熱元件) |
質(zhì)量認(rèn)證 | - CE認(rèn)證
- 所有電器元件(>24V)都通過UL / MET / CSA認(rèn)證
- 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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應(yīng)用注意事項(xiàng) | -
- 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
- 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
- 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
- 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
- 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
- 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
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