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MX-IR/BX-IR半導(dǎo)體紅外顯微鏡

非破壞觀察半導(dǎo)體器件內(nèi)部       

隨著不斷發(fā)展的電子設(shè)備小型化、超薄化的需求，半導(dǎo)體器件的封裝技術(shù)也高速進(jìn)化。使用近紅外線顯微鏡，可以對(duì)SiP（System in Package）、三維組裝、CSP（Chip Size Package）等用可視觀察無法看到的領(lǐng)域進(jìn)行無損檢查和分析。       

倒裝芯片封裝的不良狀況無損分析       

在倒裝芯片的焊接中，組裝后的焊接部分和模塊無法用可見光檢查。但是，如果使用近紅外線顯微鏡，則可以在不破壞封裝的前提下，透過硅觀察IC芯片內(nèi)部。只要置于顯微鏡下，就可以輕松進(jìn)行不良狀況分析。對(duì)必需用FIB（Focused            Ion Beam）處理位置的也有效。       

晶圓級(jí)CSP開發(fā)的環(huán)境試驗(yàn)導(dǎo)致芯片損壞       

晶圓級(jí)CSP的高溫高濕試驗(yàn)導(dǎo)致器件的變化，可以用非接觸方式檢查。此外，還能可靠的觀察銅引線部分的融解和腐蝕引起的漏電、樹脂部分的剝離等。       

鋁引線部分（內(nèi)面觀察）

焊錫溢出性評(píng)價(jià)

電極部分（內(nèi)面觀察）

針對(duì)不同樣品的顯微鏡產(chǎn)品陣容       

MX系列產(chǎn)品（半導(dǎo)體檢查型號(hào)）       

可以用來觀察150～300 mm晶圓等的大型樣品。只對(duì)應(yīng)反射照明觀察。       

半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 MX61

工業(yè)檢查顯微鏡 MX51

BX系列產(chǎn)品（標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)）       

研究級(jí)全電動(dòng)系統(tǒng)                        
金相顯微鏡 BX61

對(duì)應(yīng)反射光觀察和透射光觀察。                   

BXFM（嵌入式設(shè)備型號(hào)）       

小型系統(tǒng)顯微鏡 BXFM

將物鏡等近紅外線觀察裝置搭載于顯微鏡上，就可以組成紅外線觀察顯微鏡。            
有關(guān)對(duì)應(yīng)的顯微鏡規(guī)格，請(qǐng)參閱各顯微鏡的具體規(guī)格說明。       

近紅外線觀察裝置

LMPlan-IR紅外線觀察用

對(duì)應(yīng)顯微鏡一覽       

紅外線反射觀察
> MX61A: 可以綜合控制外圍設(shè)備、對(duì)應(yīng)300 mm晶圓的電動(dòng)型號(hào)           
> MX61L/ MX61: 可以對(duì)應(yīng)300 mm/ 200 mm 晶圓的電動(dòng)型號(hào)           
> MX51: 可以對(duì)應(yīng)150 mm晶圓的手動(dòng)型號(hào)           
> BX51M: 從明視場(chǎng)到熒光，對(duì)應(yīng)大范圍觀察的通用型號(hào)       

紅外線反射透射觀察
> BX61: 操作省力的電動(dòng)控制型號(hào)           
> BX51: 從明視場(chǎng)到熒光，對(duì)應(yīng)大范圍觀察的通用型號(hào)      

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