Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀概述

型號(hào)：Zeta-380/Zeta-380I

產(chǎn)品：光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)

品牌：Zeta澤塔

簡(jiǎn)介：zeta-380i系統(tǒng)是一個(gè)自動(dòng)化的檢測(cè)和計(jì)量包裝，檢查HBLED底物如圖案化藍(lán)寶石晶片的優(yōu)化

Zeta-380/Zeta-380I晶圓檢測(cè)和計(jì)量HBLED

的zeta-380i系統(tǒng)是一個(gè)自動(dòng)化的檢測(cè)和計(jì)量包裝檢驗(yàn)HBLED底物如圖案化藍(lán)寶石晶片的優(yōu)化快掃描缺陷全英寸晶圓為小1μ米直徑在2.5分鐘。使用缺陷的地圖審查與高分辨率的三維光學(xué)輪廓儀的缺陷，小于30秒每缺

Zeta-380/Zeta-380I簡(jiǎn)單的操作

簡(jiǎn)單的配方和缺陷檢查結(jié)合自動(dòng)缺陷審查使用缺陷地圖文件

完成的zeta-380i包可以配置所有的軟件和硬件需要全面的缺陷檢測(cè)和分析–以及Zeta的證明光學(xué)技術(shù)測(cè)量和報(bào)告系統(tǒng)的尺寸檢測(cè)- >檢討- >措施>分類

縮短過程反饋的前置時(shí)間，節(jié)省了寶貴的時(shí)間。的zeta-380i配備自動(dòng)缺陷審查功能節(jié)省了時(shí)間和簡(jiǎn)化了缺陷分析

從zeta-380i 3D圖像分析為大多數(shù)缺陷的答案。這減少了需要審查的耗時(shí)和昂貴的原子力顯微鏡或掃描電鏡分析的缺陷的數(shù)量。

Zeta-380/Zeta-380I系統(tǒng)的特點(diǎn)

相機(jī)選項(xiàng)：640x480，1024x768 1280x960

放大倍數(shù)：35000x結(jié)合光學(xué)與數(shù)字

照明：三（3）超亮白光LED

機(jī)動(dòng)化階段：150mm×150mm XY旅游

Z軸行程：40mm

Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格

Zeta-380/Zeta-380I缺陷檢測(cè)

尺寸（mm）

系統(tǒng)（寬）：1000 x 860 x 840

計(jì)算機(jī)：381×457×102

監(jiān)視器：596×449×240

總重量：145磅/ 65公斤

Zeta-380/Zeta-380I操作規(guī)范

電壓：100 - 230伏

電流：4A

操作溫度：18-30°C，非—

凝結(jié)，每小時(shí)1°C

1 1 / 3“0.5X耦合攝像鏡頭

2 2 / 3“0.35X耦合攝像鏡頭

3靜態(tài)重復(fù)性基于VLSI 0.94μm臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)，100X / 0.9n

目的，壓階段，與標(biāo)準(zhǔn)zdot成像模式

Zeta-380/Zeta-380I性能配置

缺陷：150秒為一個(gè)完整的4英寸圓片

~ PSS計(jì)量：30秒/網(wǎng)站

三維缺陷審查：~ 30秒/站點(diǎn)的典型（zdot）

~ 10秒/網(wǎng)站zsi

像素分辨率：0.09μm 0.5X耦合器和100

民z-step：2 nm可壓階段

13納米與標(biāo)準(zhǔn)Z驅(qū)動(dòng)器

z軸分辨率：1?zsi選項(xiàng)

13納米標(biāo)準(zhǔn)zdot

repeatability3：7海里（1σ