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真空擴(kuò)機(jī)組技術(shù)參數(shù)機(jī)組所配各泵技術(shù)參數(shù)
主泵前級泵
01設(shè)備名稱高真空機(jī)組油擴(kuò)散泵旋片真空泵
02 型號JKT200KT-2002X-15
03極限壓力6.7×10-4 Pa6.7×10-4 Pa1 Pa
05功率4 Kw加熱功率1.6-2Kw1.5Kw
06 機(jī)組抽速600 L/S2000 L/S(裸泵抽速)15 L/S
擴(kuò)散真空泵
真空擴(kuò)機(jī)組技術(shù)參數(shù)機(jī)組所配各泵技術(shù)參數(shù)
主泵前級泵
01設(shè)備名稱高真空機(jī)組油擴(kuò)散泵旋片真空泵
02 型號JKT200KT-2002X-15
03極限壓力6.7×10-4 Pa6.7×10-4 Pa1 Pa
05功率4 Kw加熱功率1.6-2Kw1.5Kw
06 機(jī)組抽速600 L/S2000 L/S(裸泵抽速)15 L/S
設(shè)備名稱高真空機(jī)組油擴(kuò)散泵旋片真空泵02型號JKT200KT-2002X-1503極限壓力6.7×10-4 Pa6.7×10-4 Pa1 Pa05功率4 Kw加熱功率1.6-2Kw1.5Kw06機(jī)組抽速600 L/S2000 L/S(裸泵抽速)15 L/S07啟動真空10 Pa常壓08
預(yù)熱時間≤35min09
高真空機(jī)組配置
油擴(kuò)散泵KT2001臺
旋片真空泵2X-151臺
冷阱SD-2001個
氣動擋板閥GDQ-S2001個
高閥
氣動擋板閥GDQ-J501個
預(yù)抽閥
氣動擋板閥GDQ-J501個
前級閥
電磁壓差閥DYC-Q501個
連接管路、波紋管1套
復(fù)合真空計ZDF-52271臺
電控柜1臺