1200°C三溫區(qū)二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)爐OTF-1200℃-III-HVC
1200°C三溫區(qū)二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)爐OTF-1200℃-III-HVC 的詳細介紹
OTF-1200℃-III-HVC是由OTF-1200℃-III三溫區(qū)管式爐，二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成。其額定溫度可達1200℃，極限真空度可達 10-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行**的混氣，然后導入到管式爐內(nèi)部。
三溫區(qū)二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)爐技術(shù)參數(shù)
OTF-1200℃-III管式爐 | 殼體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，便帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55度 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 |
爐管 | 材質(zhì)：高純石英管 石英管包含在內(nèi) 可以選擇其他管徑 | |
功率 | 7KW | |
額定電壓 | AC 208-240V 單相50/60Hz | |
加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，程度的延長加熱元件的使用壽命） | |
工作溫度 | 額定溫度：1200℃ 連續(xù)工作溫度：1100℃ | |
升溫速率 | 升溫速率：1~20℃/min 可編程 | |
加熱區(qū)長度 | 總加熱區(qū)：900mm (300mm + 300mm + 300mm) | |
控溫程序 | 三個精密溫度控制器分別控制三個溫區(qū) PID自動控制方式，可設(shè)置30段升降溫程序 控溫精度：±1℃ 熱電偶：采用K型熱電偶進行測溫 | |
真空密封 | 一對不銹鋼真空法蘭，已經(jīng)安裝 法蘭上已安裝機械壓力表 一對精密針閥 KF-40抽氣接口 | |
額定電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60Hz | |
尺寸 | 1100(L) x 450(W) x 670(H), mm | |
高真空機組 | 結(jié)構(gòu) | 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 承重:600 Lbs 分子泵顯示屏：LCD 數(shù)字顯示 殼體內(nèi)安裝有有一臺德國制造分子泵 |
抽氣速率 | N2 33L/s He 39L/s(2340L/minute) H232L/s | |
工作范圍 | From 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
極限 | <1E-8 mbar (無泄漏) | |
電壓&功率 | 110VAC~220VAC, 110W | |
質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | 殼體結(jié)構(gòu) | 2~9通道氣體采用PLC觸摸屏控制和PC操作軟件 LED 顯示 4通道MFC采用316不銹鋼制作，氣體流量如下 通道1: 0~100SCCM 通道2: 1~199 SCCM 通道3: 1~199 SCCM 通道4: 1~499 SCCM 4個通道的氣體經(jīng)過氣體混合罐尺寸: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm |
功率 | 18W | |
額定電壓 | AC 208-240V, 單相, 50/60Hz | |
開門斷電 | 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計 | |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管密封圈加熱元件等易耗件 | |
使用注意事項 | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加**安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） | |
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