電爐概述：
四路高溫真空CVD設(shè)備由滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ，額定溫度可以達(dá)到1200度，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)，可以對(duì)多種氣體進(jìn)行*的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。 KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對(duì)滑軌，可用手動(dòng)滑動(dòng)。加熱和冷卻速率額定可達(dá)100°C/m。為取得*快加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得*快冷卻，可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s，是低成本快速熱處理的不錯(cuò)的爐子。
適用范圍：
四路高溫真空CVD設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、CVD涂層、真空退火用的不錯(cuò)的電爐。
標(biāo)準(zhǔn)配件：
氣煉石英爐管×1 | 浮子混氣系統(tǒng)×1 | 真空系統(tǒng)×1 |
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高溫手套×1 | 坩堝鉗×1 | 熱電偶×1 |
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剛玉坩堝×2 | 爐塞×2 | 中文說(shuō)明書(shū)×1 |
注：爐管、坩堝可按用戶需求選配合適的款型
電爐名稱 | 四路高溫真空CVD設(shè)備 |
電爐型號(hào) | SGM-T1200-S60K-4C |
工作溫度 | 1100℃(可選) |
額定溫度 | 1200℃（額定可選1700℃） |
加熱 區(qū) | 三溫區(qū)（可定制） |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200+350+200mm（可根據(jù)需求定制） |
加熱速率 | 建議：0- 10°C/min {額定：0-20℃/min} |
溫控精度 | ±1℃（具有超溫及斷偶報(bào)警功能） |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，使其額定程度延長(zhǎng)使用壽命） |
加熱速率 | 0~20 ℃ / 分 |
工作電壓 | 220V，50HZ，單相 |
功 率 | 4KW |
控溫方式 | 智能化30段可編程控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示） |
質(zhì)子流量計(jì) | 4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制。 MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2范圍: 0~200 sccm MFC 3范圍: 0~200 sccm MFC 4范圍: 0~500 sccm 。 |
電氣認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保、終身保修 |
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