非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)主要特點(diǎn)
非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備由電動(dòng)滑軌式管式爐、三路供氣系統(tǒng)、真空及過(guò)濾系統(tǒng)、前驅(qū)體鼓泡裝置，氣體預(yù)熱裝置、軟件控制等部分組成。高真空化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)采用扁平石英管作為生長(zhǎng)室,扁平石墨加熱器進(jìn)行加熱.系統(tǒng)真空度用分子泵維持。
非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備可用于前驅(qū)體為非氣態(tài)源，如固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體，前驅(qū)體灌溫度可達(dá)400℃，且溫度獨(dú)立可調(diào)，固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體在一定溫度下蒸發(fā)后通過(guò)惰性氣體帶入反應(yīng)區(qū)域參與的一些CVD反應(yīng)。
非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備結(jié)構(gòu)
1、 左右兩端進(jìn)氣抽氣可相互切換；提高基體上涂層的均勻性；
2、 爐體底部在電機(jī)帶動(dòng)下可在導(dǎo)軌上水平移動(dòng)，移動(dòng)速度根據(jù)工藝需要可設(shè)置?！ ?o:p>
3、 采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動(dòng)記錄保持。
4、 供氣系統(tǒng)可以按照客戶的實(shí)驗(yàn)需求配置幾路質(zhì)量流量計(jì)，流量計(jì)的量程可選，真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。
非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
加熱系統(tǒng)
| 額定溫度 | SGM 1200℃單溫區(qū)管式爐 |
| 使用溫度 | ≤1100℃ |
| 爐膛有效尺寸 | Φ40*800mm（爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。） |
| 爐膛材料 | 高純氧化鋁纖維 |
| 熱電偶類(lèi)型 | K型熱電偶 |
| 控溫精度 | &±1℃ |
| 控溫方式 | ?30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定， |
| ?操作界面為10”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序 | |
| 加熱長(zhǎng)度 | 150mm |
| 恒溫長(zhǎng)度 | 70mm |
| 加熱原件 | 電阻絲 |
| 供電電源 | 220V，50Hz |
| 額定功率 | 2KW |
三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
| 連接頭類(lèi)型 | Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭 |
| 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 100sccm，100sccm、200sccm；（可根據(jù)用戶要求定制） |
| 準(zhǔn)確度 | &±1、5% |
| 線性 | &±0.5～1、5% |
| 重復(fù)精度 | &±0.2% |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
| 額定壓力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
真空機(jī)組
| 工作電電壓 | 220V&±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1千瓦 |
| 抽氣速率 | 10m³/h |
| 極限真空 | 5X10-1Pa |
| 耐壓值 | 0.03MPa |
| 容油量 | 1、1L |
| 進(jìn)排氣口徑 | KF25 |
| 噪音 | 50dB |
| 連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
所有評(píng)論僅代表網(wǎng)友意見(jiàn)，與本站立場(chǎng)無(wú)關(guān)。