| 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：本設(shè)備主要針對(duì)實(shí)驗(yàn)石墨烯生長(zhǎng)和制備使用，同時(shí)該設(shè)備可以用于碳納米管的生長(zhǎng)?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機(jī)觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。 PECVD高溫真空爐加熱爐體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，可用于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內(nèi)溫度場(chǎng)的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了加熱元件的壽命，測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無(wú)須操作人員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào)，同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品，做到高性能、免維護(hù)，提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。 |
| | 額定溫度 | 1200℃ | | 使用溫度 | ≤1100℃ | | 爐膛有效尺寸 | Φ50/φ100mm（爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。） | | 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 | | 熱電偶類(lèi)型 | K型熱電偶 | | 控溫精度 | ±1℃ | | 控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7/10寸工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。 | | 加熱長(zhǎng)度 | 230mm/440mm | | 恒溫長(zhǎng)度 | 100mm/200mm | | 加熱原件 | 電阻絲 | | 供電電源 | 單相，220V，50Hz | 2、PE射頻電源 | 功率輸出范圍 | 0W~150/500W | | 額定反射功率 | 100W | | 射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female | | 功率穩(wěn)定度 | ≤5W | | 諧波分量 | ≤-50dbc | | 供電電壓 | 單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ | | 整機(jī)效率 | >=70% | | 功率因素 | >=90% | | 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | 3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng) | 連接頭類(lèi)型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | | 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 50sccm，100sccm、500sccm （可根據(jù)用戶要求定制） | | 準(zhǔn)確度 | ±1、5%F.S | | 線性 | ±1%F.S | | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | | 響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec | | 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa | | 額定壓力 | 3MPa | | 接口 | Φ6,1/4'' | | 顯示 | 4位數(shù)字顯示 | | 工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 | | 壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 | | 截止閥 | Φ6 | | 內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 | 4、低真空機(jī)組 | 空氣相對(duì)濕度 | ≤85% | | 工作環(huán)境 | 5℃～40℃ | | 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ | | 功率 | 1KW | | 抽氣速率 | 10m3/h | | 極限真空 | 5X10-1Pa | | 工作壓力范圍 | 1、01325X105～1、33X10-2Pa | | 耐壓值 | 0.03MPa | | 容油量 | 1、1L | | 進(jìn)氣口口徑 | KF25 | | 排氣口口徑 | KF25 | | 噪音 | 50dB | | 連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 | |
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