立式管式爐CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
| VSGM1700管式爐
| 型號(hào) | VSGM1700-CVD-I | VSGM1700-CVD-II | |
| 功率 | 7KW | 7KW | ||
| 爐管尺寸 | Dia 60(OD) X1000mm | Dia 80(OD) X1000mm | ||
| 爐塞，材料位置放置 |
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| 外形尺寸（LXDXH） | 1300X500X800mm | 1300X500X800mm | ||
| 電源電壓 | 220V/380V | |||
| 相數(shù) | 單相 | |||
| 加熱元件 | 1800型硅鉬棒 | |||
| 控制方式
| 采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、50段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1720度或熱電偶燒斷時(shí)， 主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購(gòu)）
FP93控溫儀表 歐陸儀表 觸摸屏儀表 （日本島電） | |||
| 控溫模式 | 智能PID | |||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | |||
| 過(guò)溫保護(hù) | 有 | |||
| 過(guò)流保護(hù) | 有 | |||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | |||
| 觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | |||
| 電器 | 浙江正泰 | |||
| 可控硅 | 106/16E 德國(guó)西門(mén)康 | |||
| 額定溫度 | 1700 ℃ | |||
| 額定溫度 | 1650 ℃ | |||
| 升溫速率 | ≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） | |||
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/ Min | |||
| 熱電偶型號(hào) | B 型 | |||
| 加熱段長(zhǎng)度 | 440 mm | |||
| 電器認(rèn)證 |
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| 四周表面溫度 | ≤45℃ | |||
| 法蘭和閥門(mén) |
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GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
| 質(zhì)量流量計(jì)
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類(lèi)型） | |
| 耐壓 | 3MP | |||
| 流量控制精度 | &±1、0%F.S | |||
| 額定工作（使用）壓力 | 0.3MPa | |||
| 線性 | &±0.5%F.S. | |||
| 重復(fù)精度 | &±0.2% F.S | |||
| 路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | |||
| 接頭類(lèi)型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | |||
| 系統(tǒng)工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | |||
| 工作溫度 | 5-45℃ | |||
| 壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |||
| 靜態(tài)混氣室 | Dia50 X 400MM | |||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | |||
| VS-0.1抽氣系統(tǒng)
方案一或方案二任選一個(gè)
| 電源 | 220V | ||
| 尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||
| 波紋管 | KF25X1000mm | |||
| 用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) | 10-1Pa | |||
| 真空擋板閥 | KF25 | |||
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VRD-8真空泵 方案一 | 型號(hào) | VRD-8 | ||
| 極限分壓強(qiáng) | 5X10-2Pa | |||
| 進(jìn)排氣接口 | KF25 | |||
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 1440RPM | |||
| 抽氣速率 | 2、2L/S | |||
| 電機(jī)功率 | 0.4KW | |||
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Preiffer ACP15無(wú)油多級(jí)羅茨泵 方案二 | 型號(hào) | ACP15 | ||
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | |||
| 功率 | 450W | |||
| 重量 | 25KG | |||
| 額定氦氣漏率 | 5 · 10-8Pa m3/s | |||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | |||
| 極限壓強(qiáng) | 0.02Torr | |||
| 進(jìn)、排氣接口 | KF25 | |||
| 電阻真空計(jì) （方案一） | 型號(hào) | ZDR-1 | ||
| 功率 | 25W | |||
| 真空度測(cè)量范圍 | 0.1-105Pa | |||
| 電阻硅 | ZJ-52T | |||
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瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空 （方案二）
| 型號(hào) | PCG554 | ||
| 輸入電壓 | 24V1A DC（配有220V變壓器） | |||
| 真空計(jì)接口 | KF16 | |||
| 數(shù)字顯示 | 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr | |||
| 產(chǎn)品尺寸 | 46mm×28mm×126mm(LxWxH) | |||
| 重量 | 5lbs | |||
| 檢測(cè)氣體 | 可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量*、重復(fù)性好。 | |||
| 是否防腐 | 防腐 | |||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤30ms | |||
| 測(cè)量范圍 | 3、8x10-5-1125Torr. | |||
| 分子泵機(jī)組（選購(gòu)）
（方案一或方案二任選一個(gè)） | 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | ||
| 波紋管 | KF40X1000 | |||
| 真空擋板閥 | KF40 | |||
| 機(jī)箱尺寸 | 600X600X600 | |||
| 分子泵 （方案一）
| 分子泵型號(hào) | FJ620 | ||
| 輸入電壓 | 380V | |||
| 分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | |||
| 分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） | 600 | |||
| 分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) | 6×10-7 | |||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | |||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | |||
| 環(huán)境溫度 | 0~40℃ | |||
| 建議啟動(dòng)壓強(qiáng) | <100pa | |||
| 分子泵前級(jí)真空TRP-24 (FJ620分子泵必須要配此前級(jí)泵) （方案二）
| 功率 | 0.75KW | ||
| 電壓 | 380V | |||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | |||
| 進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | |||
| 前機(jī)泵抽氣速率（L/S） | 6 | |||
| 極限壓強(qiáng) | 4X10-2Pa | |||
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德國(guó)Pfeiffer真空泵（方案二） | 電壓 | 220V | ||
| 功率 | 110W | |||
| 抽氣接口 | KF40 | |||
| 重量 | 150KG | |||
| 前機(jī)泵抽速 | 0.9m3/ h | |||
| 抽氣速率（N2） | 33L/S | |||
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復(fù)合真空計(jì)
| 復(fù)合真空計(jì)型號(hào) | ZDF | ||
| 電源 | 220V 55W | |||
| 控制精度 | &± 1% | |||
| 真空計(jì)測(cè)量范圍 | 10-5-105Pa | |||
質(zhì)保期
一年質(zhì)保，終身技術(shù)支持
特別提示：1、耗材部分如加熱元件，爐管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項(xiàng)
1、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2、由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3、當(dāng)使用的爐管為剛玉管時(shí)，爐體溫度高于1500℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊
5、對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
6、不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，額定溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統(tǒng)是由4路供氣系統(tǒng)+SGM1700管式爐+真空系統(tǒng)組成
1、加熱元件
（1）、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負(fù)荷低，使用壽命長(zhǎng)。
（2）、采用的是熱彎技術(shù)，電阻均勻，使用壽命長(zhǎng)
（3）、Lu冷端長(zhǎng)度為210mm， 400X300X300爐子為260 ，一般廠家采用180mm, 冷端長(zhǎng)爐頂溫度低。
（4）、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護(hù)硅鉬棒。
2、安裝有空氣開(kāi)關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí)，空開(kāi)會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)。
、
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出
4、爐膛
進(jìn)口爐膛VS 國(guó)產(chǎn)爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*優(yōu)的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)
4、采用4周加熱，溫場(chǎng)更加均衡
5、該爐膛不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、觸發(fā)器
VS
軟啟動(dòng)限流觸發(fā)器 大部分廠家使用的非限流
廈門(mén)博特觸發(fā)器
1、移相觸發(fā)（帶軟啟動(dòng)和限流功能）
2、限流功能：無(wú)論怎么樣設(shè)置升溫速率，我們電爐的二次電流始終被限制在170A以?xún)?nèi)，有效的保護(hù)了設(shè)備。由于采用限流功能，高溫下可開(kāi)爐門(mén)。如果您使用的電爐需要在升溫過(guò)程中對(duì)爐子的升溫速率進(jìn)行限制（例如：規(guī)定在1400℃后不得超過(guò)3℃/min等）即采用非限流觸發(fā)器。升溫速率設(shè)置錯(cuò)誤或者升溫速率過(guò)快、這時(shí)電流會(huì)非常大，設(shè)備會(huì)跳閘或燒壞。
3、軟啟動(dòng)功能：開(kāi)機(jī)時(shí)電流會(huì)慢慢增大，對(duì)加熱元件的沖擊較小，有利于加熱元件壽命的延長(zhǎng)
4、保護(hù)功能：如果電流超過(guò)限制電流、觸發(fā)器會(huì)自動(dòng)切斷觸發(fā)功能以切斷電流保護(hù)電爐。
7、UL認(rèn)證變壓器
1、變壓器電纜為純銅 2、變壓器聲音小 3、變壓器溫身低8、多款可供選擇的各種法蘭 （直徑從25到250mm）
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購(gòu)） 可以接電阻真空計(jì)和KF25波紋管的法蘭（選購(gòu)） 水冷法蘭（選購(gòu)）
9、認(rèn)證
VSGM1700-CVD系統(tǒng)標(biāo)配
| 描敘 | 數(shù)量 | 圖片 |
| VSGM1700管式爐 | 1 套 |
|
| 剛玉管 | 1根 |
|
| 不銹鋼法蘭 | 1 套 |
|
| 不銹鋼爐鉤 | 1 個(gè) |
|
| 氧化鋁爐塞 | 1對(duì) |
|
| 高溫手套 | 1 雙 |
|
| 氧化鋁坩堝 | 1 個(gè) |
|
| Ｋ型熱電偶 | 1個(gè) | |
| 485轉(zhuǎn)換接口和軟件（選配） | 1 套 |
|
| 說(shuō)明書(shū) | 1本 |
|
| 供氣系統(tǒng)
| 1臺(tái) | |
| VS-0.1抽氣系統(tǒng) | 1臺(tái) | |
| 射頻電源 | 1臺(tái) | |
| 卡套 | 4個(gè) | |
| 波紋管 | 1支 | |
| 真空擋板閥 | 1個(gè) | |
| 鋼瓶接頭（N代表路數(shù)） | N個(gè) | |
| 閥門(mén)接頭 | 2 | |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) | NX5 |
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