適用范圍:5、3×10-5Pa~1、2×105Pa(氟膠圈密封)
5、3×10-6Pa~1、2×105Pa(波紋管密封)
打開時閥板上的壓差:5、3×10-6Pa~1、2×105Pa任意方向
閥體和閥座漏率:≤1、3×10-7Pa·L·s-1
保養(yǎng)循環(huán)次數:≤1、3×10-7Pa·L·s-1
閥體烘烤溫度:≤150℃
安裝位置:密封面朝向真空
電源:交流220V50Hz,6W或直流24V,3W(特殊規(guī)格可定做)
壓縮空氣:0.5~0.7MPa
閥門開啟或關閉時間:≤5s
閥門位置指示:帶有啟閉位置指示開關(磁性開關)
閥門重量:見產品重量手冊
大型高真空擋板閥 (氣動 304) 哪個廠家的質量好?生產廠家西格馬質量好,售后完善。
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