PECVD系統(tǒng)由開啟式單（雙）溫區(qū)管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、射頻電源、壓強(qiáng)控制儀及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：
1、高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成，額定真空可達(dá)0.0001Pa；
2、可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制；
3、 通過射頻電源實(shí)現(xiàn)輝光放電等方法，產(chǎn)生等離子體；
4、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。
5、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用世界*Swagelok卡套連接，不漏氣；
6、超溫、過壓時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣，使用安全可靠。
PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡單。
主要技術(shù)參數(shù)：
| 電爐型號(hào) | SGMT-1200R-60 -PECVD |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有風(fēng)冷系統(tǒng) |
| 爐膛材質(zhì) | 真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英管；可選外徑Φ40/50/60/80/100*1200/1500mm |
| 密封法蘭 | 不銹鋼快速擠壓密封法蘭 |
| 溫控系統(tǒng) | 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降 溫程序；控溫精度±1℃ |
| 顯示模式 | 儀表面板顯示 |
| 加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)電阻絲0Cr27Al7Mo2 |
| 測溫元件 | K型熱電偶（可選購增加內(nèi)置熱電偶，實(shí)時(shí)監(jiān)測加熱物料溫度） |
| 使用溫度 | 額定溫度1200℃，連續(xù)工作溫度≤1150℃ |
| 升溫速度 | 推薦≤10℃/min，*快升溫速度30℃/min |
| 降溫速度 | 700℃以上≤10℃/min |
| 恒溫區(qū) | 加熱區(qū)長度440mm，恒溫區(qū)200mm |
| 真空范圍 | 0.1-0.001Pa |
| 極限真空 | 4、0*10^-4Pa |
| 電爐配置 | 雙級旋片真空泵+分子泵 |
| 測量方式 | 復(fù)合真空計(jì) |
| 真空規(guī)管 | 電阻規(guī)+電離規(guī) |
| 射頻電源 | 電源：單相50/60Hz 220v±10% |
| 射頻電源 | 加熱（功率）電源：2、5KW，25A |
| 射頻電源 | 控制柜電源空氣開關(guān)：32A空氣開關(guān) |
| 射頻電源 | 薄膜生長室溫度：室溫~ 1200℃ |
| 射頻電源 | 射頻頻率：13、56MHz |
| 射頻電源 | 射頻功率輸出范圍：5~500W |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 控制方式：質(zhì)量流量計(jì),流量顯示儀（七星華創(chuàng)、美國Omega、日本Horiba） |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 流量規(guī)格0－500SCCM /0－1SLM,（可根據(jù)客戶需要配置） |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 線性±1%F.S |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 準(zhǔn)確度±1%F.S |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 重復(fù)精度±0.2%F.S. |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 響應(yīng)時(shí)間≤2sec |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 耐壓3MPa |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 氣路通道雙通道（根據(jù)客戶需求） |
| 機(jī)器電源 | AC220V，50/60Hz；額定功率4kw |
| 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) | GB/T 10066、1-2004、GB/T 10067、4-2005 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置 | 主機(jī)1臺(tái)，密封法蘭1套，“O"型圈4個(gè)，石英管1根，管堵4個(gè)，坩堝鉤1把， 說明書、合格證、保修卡各1份 |
| 可選混氣 | 多通道浮子、質(zhì)量混氣系統(tǒng) |
| 選購件 | 爐架，各種石英、剛玉坩堝，石英管，高溫手套，計(jì)算機(jī)控制軟件，無紙記錄儀等。 |
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