真空管式爐原理:真空管式爐采用石英管或剛玉管為密封容器,選用不銹鋼材質(zhì)的密封法蘭,使得石英管或剛玉管在滿足密封的條件下,同時(shí)可以非常方便的取放實(shí)驗(yàn)材料。爐內(nèi)環(huán)境屬于真空,再結(jié)合熱處理技術(shù),真空管式爐就能完成對(duì)產(chǎn)品的燒結(jié)工作。由于是真空狀態(tài),放入爐內(nèi)的產(chǎn)品不會(huì)因?yàn)榕c空氣發(fā)生反應(yīng),從而改變?cè)械氖褂眯再|(zhì)。
真空管式爐應(yīng)用:真空氣氛管式爐門(mén)設(shè)計(jì)用于高溫、中溫、低溫CVD工藝。如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、陶瓷電容器(MLCC)氣氛燒結(jié)等等。窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫,優(yōu)質(zhì)硅鉬棒加熱,優(yōu)質(zhì)99剛玉管爐膛,氣體采用浮子流量計(jì)流量計(jì)控制。進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制,有的實(shí)現(xiàn)溫度的控制。設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長(zhǎng)等點(diǎn),是理想的科研設(shè)備。
真空管式爐多錢:真空管式爐價(jià)格幾千幾萬(wàn)的都有。
真空管式爐使用方法:真空管式爐各立的加熱區(qū)均配備有熱電偶、數(shù)顯式智能調(diào)節(jié)器(PID)和可控硅組成的閉環(huán)控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控溫,操作起來(lái)也很方便。針對(duì)實(shí)驗(yàn)的使用要求,裝卸料采用間歇式手動(dòng)裝、卸料。裝料時(shí)將料盒放置在料盆支架上,打開(kāi)并取出爐管的密封蓋,放入帶料盒的料盒支架,再將密封蓋安裝在爐管法蘭上并擰緊卡箍螺栓。然后通人工藝氣氛,直到爐管內(nèi)氧含量達(dá)到工藝要求時(shí)進(jìn)行升溫?zé)Y(jié)。產(chǎn)品燒結(jié)工藝完成后,應(yīng)繼續(xù)通人小量的工藝氣氛并進(jìn)行降溫,直到爐內(nèi)溫度低于工藝要求時(shí),方可打開(kāi)爐管密封蓋取出產(chǎn)品。
真空管式爐 次使用:
1、爐子 次使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開(kāi)裂。
爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。
2、產(chǎn)生失透缺陷屬于正常現(xiàn)象
爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的個(gè)固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。
3、冷爐使用時(shí),低溫段升溫速率不易過(guò)快
冷爐使用時(shí),由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過(guò)快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。
4、定期檢查溫度控制系統(tǒng)
定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
5、及時(shí)更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈
爐子使用過(guò)段時(shí)間后,若真空度降低,可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統(tǒng),以提高系統(tǒng)的整體真空度。
真空管式爐使用注意事項(xiàng):
1.爐子使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。
2.爐子使用過(guò)段時(shí)間后,若真空度降低,可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統(tǒng),以提高系統(tǒng)的整體真空度。
3.冷爐使用時(shí),由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過(guò)快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。
4.爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的個(gè)固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。
5.定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
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