怡和興研發(fā)的半導(dǎo)體晶圓烤箱，可執(zhí)行晶圓級(jí)預(yù)燒和磁性退火等前道半導(dǎo)體功能， 以及組裝/晶圓級(jí)包封功能（例如黏晶固化、穩(wěn)定性和預(yù)燒測(cè)試以及熱沖擊），以滿足其退火、干燥及熱分解需求，還滿足在大規(guī)模半導(dǎo)體封裝和組裝生產(chǎn)中對(duì)潔凈工藝、低氧化、粘合劑和聚合物的高效固化等要求。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、利用強(qiáng)制通風(fēng)作用，烘箱內(nèi)設(shè)有風(fēng)道，溫度均勻度1.5%，物料干燥均勻。

2、采用進(jìn)口數(shù)字型智能溫度控制器，定值恒溫控制模式，PID自動(dòng)演算，控溫精度±0.2℃，帶傳感器斷線報(bào)警功能，超溫抑制，超調(diào)功能，控溫準(zhǔn)，過(guò)沖低，帶超溫警報(bào)保護(hù)功能，確保產(chǎn)品運(yùn)行安全。

3、雙流量計(jì)節(jié)氮系統(tǒng)，雙延時(shí)充氮控制，無(wú)氧、低氧環(huán)境下節(jié)省氮?dú)庀牧俊?/p>

4、箱門(mén)于箱體結(jié)合處采用耐高溫硅橡膠條密封迫緊，保溫性能好，抗老化，環(huán)保無(wú)污染。箱門(mén)把手采用提拉式鋅合金機(jī)械把手，機(jī)械強(qiáng)度高，耐磨損，開(kāi)關(guān)門(mén)靈活。

5、采用LED數(shù)字型時(shí)間計(jì)時(shí)器，計(jì)時(shí)0~9999H/M/S。設(shè)定溫度→設(shè)定保溫時(shí)間→時(shí)間到結(jié)束END提示-自動(dòng)示切斷加熱-警報(bào)完成指示。

半導(dǎo)體行業(yè)烤箱基本配置：

1. 溫度范圍：RT～180℃；

2. 內(nèi)箱尺寸：可定制

3. 箱體數(shù):2個(gè),上下布置，可定做；

4. 內(nèi)膽材質(zhì)：SUS321鏡面不銹鋼，無(wú)縫焊接保護(hù)被加工件不受任何污染；

5. 升溫時(shí)間（空載）：1.5h；

6. 加熱器：特制無(wú)塵加熱器；

7. 超溫保護(hù)器，馬達(dá)過(guò)載保護(hù)器，蜂鳴器，故障指示燈，無(wú)熔絲開(kāi)關(guān)。