(LQS）氣體質(zhì)量流量控制 型號:D07-7C 庫號：M3576 (LQS）氣體質(zhì)量流量控制 型號:D07-7C 庫號：M3576 (LQS）氣體質(zhì)量流量控制 型號:D07-7C 庫號：M3576
七星流量計/氣體質(zhì)量流量控制 型號:D07-7C
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★價格比、普通型產(chǎn)品 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★7B型的更新?lián)Q代型 ★管狀分流，使用壽命長 用途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行地測量和控制。用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產(chǎn)品精度 ±1.5％F.S.
重復(fù)精度 ±0.2% FS
線性 ±1％F.S.
響應(yīng)時間 ≤10sec
工作溫度范圍 (5~45)°C
耐壓 3MPa
密封材料 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號 (0~5)VDC
電源 ±15V
閥類型 常閉
溫度系數(shù)
零點飄移指標 - 無 -
電氣連接 D sub 15 pins Female
工作壓差范圍 (0.1～0.5) MPa
漏率 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學(xué)成分 - 無 -
表面粗糙度 - 無 -
抗電磁干擾 CE
重量 1.1Kg
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