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623A 壓力傳感器
產(chǎn)品分類：MKS真空計壓力計

Baratron® 薄膜電容式壓力傳感器 (工作在室溫)
622A 壓力傳感器，滿量程范圍：1 – 1000 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.15
626A 壓力傳感器，滿量程范圍：0.1–1000 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.15
623A 壓力傳感器 (帶繼電器觸點控制)，滿量程范圍：10 – 1000 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.15
722A 緊湊型壓力傳感器，滿量程范圍:1 – 2500 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.5
i-Baratron® DMA 帶DeviceNet™ 通訊口的數(shù)字壓力傳感器，滿量程范圍： 0.1 – 1000 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.15。
計量單位：臺

MKSE29E壓力計傳感器
產(chǎn)品分類：MKS真空計壓力計

Baratron® 薄膜電容式壓力傳感器 (溫度控制在45℃)
627B/629B 壓力傳感器，滿量程范圍：0.02 – 1000 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.12。
E27B/E29B Etch 專用壓力傳感器，滿量程范圍：0.02 – 100 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.12。
624B 壓力傳感器 (帶繼電器觸點控制)，滿量程范圍：1 – 2000 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.12。
727A 緊湊型壓力傳感器，滿量程范圍：1 – 1000 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.5。
627C/E27C e-Baratron® 帶以太網(wǎng)通訊口的壓力傳感器/ Etch專用壓力傳感器，滿量程范圍： 0.1 – 1000 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.12。
i-Baratron® DMA 帶DeviceNet™ 通訊口的數(shù)字壓力傳感器，滿量程范圍： 0.1 – 1000 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.12。
D27B/D24B 雙量程壓力傳感器/壓力傳感器 (帶繼電器觸點控制)，滿量程范圍： 1 – 1000 Torr，精度：讀數(shù)值的百分之0.12。
計量單位：臺

MPG400/MPG401冷陰極皮拉尼復(fù)合真空規(guī)
產(chǎn)品分類：MKS真空計壓力計

NFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在一個具有對數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.
MPG400冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)的詳細(xì)介紹
優(yōu)點：
■復(fù)合真空規(guī)—冷陰極與皮拉尼
■寬的壓強(qiáng)測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
■無可燒毀的燈絲
■的引燃功能
■易清洗
■FPM或金屬密封的饋入件
■高壓加上時LED指示燈亮
■對數(shù)模擬輸出訊號
應(yīng)用：
■高真空壓強(qiáng)監(jiān)測
■蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測量
■一般真空測量和控制，從中至高真空范圍

PSG500 Pirani /PSG502標(biāo)準(zhǔn)真空計
產(chǎn)品分類：MKS真空計壓力計

簡單介紹
INFICON的 Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計 PSG500 和 PSG502-S 代表封裝在堅固耐用小型管殼內(nèi)的的Pirani技術(shù).溫度補(bǔ)償提供快速與的真空測量并消除了對大氣壓強(qiáng)反應(yīng)慢的問題. 堅固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng), 以及常規(guī)用途如前級真空管道中.

PSG500 Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計

特點：
■ 占空間小
■ 任何方位安裝
■ 不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件
■ 化的溫度補(bǔ)償
■ 易于集成的對數(shù)訊號輸出
■ 至10巴壓力的高過壓能力，用螺紋連接件
■ 烘烤型在法蘭處可達(dá)到250 °C
■ 易于更換的傳感單元

應(yīng)用：
■ 控制高真空電離真空計
■ 前級真空壓強(qiáng)監(jiān)測
■ 真空系統(tǒng)中的安全電路
■ 在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制

PCG400復(fù)合型真空計
產(chǎn)品分類：MKS真空計壓力計

INFICON PCG400和PCG410型復(fù)合皮拉尼與電容膜片技術(shù)用于從5X10-4至1500毫巴（3.8X10-4至1125乇）精確度和可重復(fù)的壓強(qiáng)測量。與對流增強(qiáng)型皮拉尼不同，PCG可任意方向安裝，便于靈活地添加探頭。